ULVAC Vietnam Representative Office
RF 전원 공급 장치 및 정합기
RF 전원 공급 장치 및 정합기는 플라즈마 공정에 RF 전력을 공급하며, 13.56MHz의 출력 주파수와 0.5kW / 1kW / 3kW / 5kW의 다양한 출력 사양을 제공합니다. 고효율 RF 증폭기를 적용하여 소형·경량 설계를 실현했습니다. 또한 RF 전원 공급 장치에는 자동 제어 기능이 통합되어 있어, 본체만으로 RF 전원 공급 장치의 출력 전력 제어 및 정합 시스템 제어를 수행할 수 있습니다.
특징
- 고효율 증폭기 적용
- 전력 변환 효율이 높은 RF 회로 구조를 적용하여 에너지 소비를 절감합니다.
- 고속 자동 정합
- 고속 알고리즘을 적용하여 신속한 자동 정합을 구현합니다.
- 자동 정합 기능 내장 RF 전원 공급 장치
- RF 전원 공급 장치 본체만으로 정합 시스템을 제어할 수 있습니다.
- RF 전원의 수동 출력 및 정합기 동작을 내부 컨트롤러를 통해 제어할 수도 있습니다.
- 유연한 제어 구성 지원
- 외부 아날로그 및 시리얼 통신을 통한 제어가 가능합니다.
- 높은 신뢰성
- 장비 제조업체로서 축적해 온 다양한 기술과 노하우를 설계에 반영했습니다.
응용 분야
- 스퍼터링 시스템 및 CVD 시스템
- 플라즈마 에칭
- RF 이온 소스
- 중화기
사양
전원
| Model | RFS-1305N | RFS-1310N | RFS-1330N | RFS-1350N | |
| Input Spec | Input rated voltage | AC200 to 220V | |||
| Input voltage fluctuation range | AC180～242V | ||||
| Phase, frequency | 1phase 50/60Hz | 3phase 50/60Hz | |||
| Input connector | Bayonet netlock round connector DCA3102E16-10P-D | Bayonet netlock round connector DCA3102E22-22P-D | |||
| Input capacity | 1.2 kVA or less | 1.8 kVA or less | 5 kVA以 or less | 8 kVA or less | |
| Input current | 10A or less | 25A or less | 30A or less | ||
| Leak current | 5mA or less | ||||
| Output Spec | Oscillating frequency | 13.56MHz | |||
| Rated traveling-wave power | 500W（50Ω load） | 1000W（50Ω load） | 3000W（50Ω load） | 5000W（50Ω load） | |
| Maximum reflected wave power | 100W | 500W | |||
| Output impedance | 50Ω | ||||
| Harmonic distortion ratio | -35dB or less (Rated output, Continuous mode) | ||||
| Output connector | N type | HN type | DIN 7/16 | ||
| Cont | Control method | Power control mode | |||
| Control precision | Rated output ±2％ or less（Rated power 10～100％） | ||||
| Cooling method | Air-cooling | Water-cooling | |||
| No cooling water required | Flow rate 4L/min | Flow rate 6L/min | |||
| Control guarantee range | Rated power 10 to 100％ | ||||
| Demensions W x D x H | 240mm x 495mm x 150mm （excepting projection portion) | 480mm × 500mm × 150mm （excepting projection portion) | |||
| Weight | 11kg | 23kg | |||
RF 전원 공급 장치용 정합기
| Model | MBX-1305N | MBX-1310N | MBX-1330N | MBX-1350N | |
| RF input | Input frequency | 13.56MHz | |||
| Rated power | 10～500W | 10～1000W | 30～3000W | 50～5000W | |
| Input connector | N type | HN type | DIN 7/16 type | ||
| RF output | Allowable output voltage | 2.5kVpp or less / 2.5kVdc or less | 5.0kVpp or less / 2.5kVdc or less | 10kVpp or less / 2.5kVdc or less | |
| Allowable output current | 30A or less | 80A or less | 120A or less | ||
| Load impedance | Real part： 0.5Ω ≦ R ≦ 10.0Ω （Only the range of regulation voltage and current） | ||||
| Residual reflected wave power | Big either input travelling wave power 0.3％ or less or 10W or less | Big either input travelling wave power 0.3％ or less or 30W or less | Big either input travelling wave power 0.3％ or less or 50W or less | ||
| Cooling system | Air-cooling | Air-cooling + Water-cooling （Flow rate 2L/min） | |||
| Demensions W x D x H | 375mm x 250mm x 120mm（excepting projection portion） | 375mm x 250mm x 170mm （excepting projection portion） | 450mm x 500mm x 248mm （excepting projection portion） | ||
| Weight | Approx. 8kg | Approx. 10kg | Approx. 21kg | ||
* 주변 작동 온도: 10℃ ~ 40℃ (결로가 발생하지 않는 조건)
* 작동 환경: 직사광선, 열, 먼지 및 진동을 피하고, 부식성 가스가 없는 환경에서 사용하십시오.
