ULVAC Vietnam Representative Office
RF電源およびマッチングボックス
RF電源およびマッチングボックス 13.56MHz出力、0.5kW／1kW／3kW／5kWのRF電力をプラズマプロセスへ供給します。高効率RFアンプを採用することで、小型・軽量化を実現しています。RF電源には自動整合制御機能を内蔵しており、本体のみでRF電力制御およびマッチングシステムの制御が可能です。
特長
- 高効率アンプを採用
- 電力変換効率に優れたRF回路構成により、省エネルギー化を実現しています。
- 高速オートマッチング機能
- 高速アルゴリズムにより、高速な自動整合を実現します。
- RF電源本体に自動整合機能を内蔵
- RF電源本体のみでマッチングシステムの制御が可能です。
- また、手動によるRF出力設定および内蔵コントローラによるマッチングボックス制御にも対応しています。
- 柔軟な制御構成に対応
- 外部からのアナログ制御およびシリアル通信による制御が可能です。
- 高い信頼性
- 装置メーカーとして長年培った技術とノウハウを設計に反映しています。
用途
- スパッタリング装置（Sputtering system）およびCVD装置
- プラズマエッチング装置
- RFイオン源
- 中和器
標準仕様
電源
| Model | RFS-1305N | RFS-1310N | RFS-1330N | RFS-1350N | |
| Input Spec | Input rated voltage | AC200 to 220V | |||
| Input voltage fluctuation range | AC180～242V | ||||
| Phase, frequency | 1phase 50/60Hz | 3phase 50/60Hz | |||
| Input connector | Bayonet netlock round connector DCA3102E16-10P-D | Bayonet netlock round connector DCA3102E22-22P-D | |||
| Input capacity | 1.2 kVA or less | 1.8 kVA or less | 5 kVA以 or less | 8 kVA or less | |
| Input current | 10A or less | 25A or less | 30A or less | ||
| Leak current | 5mA or less | ||||
| Output Spec | Oscillating frequency | 13.56MHz | |||
| Rated traveling-wave power | 500W（50Ω load） | 1000W（50Ω load） | 3000W（50Ω load） | 5000W（50Ω load） | |
| Maximum reflected wave power | 100W | 500W | |||
| Output impedance | 50Ω | ||||
| Harmonic distortion ratio | -35dB or less (Rated output, Continuous mode) | ||||
| Output connector | N type | HN type | DIN 7/16 | ||
| Cont | Control method | Power control mode | |||
| Control precision | Rated output ±2％ or less（Rated power 10～100％） | ||||
| Cooling method | Air-cooling | Water-cooling | |||
| No cooling water required | Flow rate 4L/min | Flow rate 6L/min | |||
| Control guarantee range | Rated power 10 to 100％ | ||||
| Demensions W x D x H | 240mm x 495mm x 150mm （excepting projection portion) | 480mm × 500mm × 150mm （excepting projection portion) | |||
| Weight | 11kg | 23kg | |||
RF電源・マッチングボックス接続用ボックス
| Model | MBX-1305N | MBX-1310N | MBX-1330N | MBX-1350N | |
| RF input | Input frequency | 13.56MHz | |||
| Rated power | 10～500W | 10～1000W | 30～3000W | 50～5000W | |
| Input connector | N type | HN type | DIN 7/16 type | ||
| RF output | Allowable output voltage | 2.5kVpp or less / 2.5kVdc or less | 5.0kVpp or less / 2.5kVdc or less | 10kVpp or less / 2.5kVdc or less | |
| Allowable output current | 30A or less | 80A or less | 120A or less | ||
| Load impedance | Real part： 0.5Ω ≦ R ≦ 10.0Ω （Only the range of regulation voltage and current） | ||||
| Residual reflected wave power | Big either input travelling wave power 0.3％ or less or 10W or less | Big either input travelling wave power 0.3％ or less or 30W or less | Big either input travelling wave power 0.3％ or less or 50W or less | ||
| Cooling system | Air-cooling | Air-cooling + Water-cooling （Flow rate 2L/min） | |||
| Demensions W x D x H | 375mm x 250mm x 120mm（excepting projection portion） | 375mm x 250mm x 170mm （excepting projection portion） | 450mm x 500mm x 248mm （excepting projection portion） | ||
| Weight | Approx. 8kg | Approx. 10kg | Approx. 21kg | ||
使用周囲温度：10～40℃（結露なきこと）
使用環境：直射日光、高温、粉塵、振動を避け、腐食性ガスのない環境で使用してください。
