ULVAC Vietnam Representative Office
PBLシリーズ油拡散ポンプ
ULVACのPBLシリーズ油拡散ポンプは、中真空領域（約40Pa）から運転可能な油拡散ポンプシリーズです。 油拡散ポンプ内部への異物の吸引を防止する設計となっており、市場投入以来、長年にわたり高い信頼性と実績を有しています。
特長
- 10⁻¹ Paでの最大排気速度を実現
高い排気性能により、効率的な真空排気が可能です。 - ステンレス製ボディによる低アウトガス性能
PBL-02およびPBL-4は、ポンプ本体（シリンダー）にステンレス鋼を採用しているため、アウトガスが少なく、深真空の達成が容易です。また、優れた耐食性を備えています。 - 油回転ポンプ・ブースターポンプシステムの後段ポンプとして最適
PBLシリーズは、油回転ポンプおよびメカニカルブースターポンプと組み合わせたシステムに適しています。
（排気速度：80L/s～7000L/s、到達圧力：10⁻² Pa） - 高いガス捕集性能を実現した大型モデル
PBL-06～PBL-20の大型モデルでは、油中に直接ヒータを配置した配管加熱構造を採用し、気体分子の捕集効率を向上させています。
仕様
| Model | PBL-02 | PBL-04 | PBL-06 | PBL-10 | PBL-14 | PBL-20 | |||||||
| 排気速度（L/s） | 80 | 200 | 500 | 1800 | 4000 | 7000 | |||||||
| 最大圧力（Pa）*1 | 2.7×10-2 | ||||||||||||
| 最大背圧（Pa） | 40 | ||||||||||||
| ウォームアップ時間（min） | 20 | 30 | 30 | 40 | 50 | 60 | |||||||
| オイル | ULVOIL B-6 | ||||||||||||
| オイル容量（L） | 0.1 | 0.6 | 7.5 | 18 | 36 | 90 | |||||||
| 冷却水温度（℃） | 19～25℃ | ||||||||||||
| 冷却水配管サイズ（Rc） | 1/8×1 | 1/4×1 | 3/8×2 | 1/2×2 | 1/2×3 | Rc 1/2×3 Rc 3/8×1 | |||||||
| 流量（L/min） | 1.5 | 5 | 8 | 12 | 18 | 25 | |||||||
| 電圧 | 200V / 1φ | 200V / 3φ | |||||||||||
| ポンプ電源（kW） | 0.44 | 1.8 | 4 2kW×2pc. | 8 4kW×2pc. | 11 5.5kW×2pc. | 18 6kW×3pc. | |||||||
| ヒータ方式 | cartridge | colled element | sheathed | ||||||||||
| 標準バックポンプ*2 | VD201/VD30C PVD-360 | PKS-016 VS1501 | PKS-030 VS2401 | PKS-070 (PMB600D＋PKS-030) (PMB600D＋VS1501) | PMB1200D＋PKS-030 PMB1200D＋VS1501 | PMB-040C＋PKS-070 (PMB2400D＋PKS-070) | |||||||
| 寸法（mm）*3 | A | 100 | 150 | 200 | 300 | 340 | 510 | ||||||
| B | 70 | 112 | 152 | 346 | 548 | 422 | |||||||
| H | 463 | 524 | 973 | 1321 | 1687 | 2320 | |||||||
| 吸気口 | VG50 | VG100 | VG150 | VG250 | VG350 | VG500 | |||||||
| 排気口 | 3/4B phụ kiện ống | VG40 | VG50 | VG80 | VG100 | VG200 | |||||||
| 質量（kg） | 6 | 17 | 86 | 198 | 313 | 495 | |||||||
| オイルレベルゲージ | なし | なし | レベルゲージ | ||||||||||
| 温度スイッチ（オプション） | なし | ||||||||||||
| 温度スイッチ作動温度（℃） | – | ||||||||||||
水冷バッフル（PBL）
Model | BW-02 | BW-04B | BW-06B | BW-10 | BW-14 | BW-20 | |
流量 [L/sec] | 100 | 940 | 2200 | 3130 | 5000 | 13000 | |
| 寸法[mm]*3 | D | φ120 | φ149 | φ199 | φ350 | φ450 | φ625 |
T | 16 | 28 | 28 | 44 | 50 | 152 | |
t | 16 | 25 | 25 | 22 | 22 | 24 | |
| 冷却水配管サイズ（RC) | 1/8 | 1/4 | 3/8 | ||||
| 水量 [L/min] | 1.5 | 0.7 | 1 | 2 | 2 | 3 | |
| 質量 [kg] | 1 | 1.3 | 1.7 | 7.6 | 11 | 22 | |
※1：到達圧力は、冷却水温度20℃の場合における電離真空計による測定値です。
※2：バックポンプは、油拡散ポンプの最大スループットを考慮して選定してください。ただし、立ち上げ時間（到達圧力までの時間）を短縮する場合は、より大容量のバックポンプの使用を推奨します。
※3：その他の寸法については、ULVAC株式会社ウェブサイトよりCADデータをダウンロードしてご確認ください。
