ULVAC Vietnam Representative Office
ダイヤフラム式ドライ真空ポンプ DAU-20D / DTU-20D
ダイアフラム式真空ポンプは、ゴム製ダイアフラムの往復運動によって真空を生成します。ポンプ構造により、オイルフリー環境を実現し、メンテナンスも容易です。DAU / DTUシリーズは、当社のダイアフラム式ドライ真空ポンプ製品ラインアップの中で高い真空圧力を提供するモデルであり、50Hzで20L/min、60Hzで23L/minの排気速度を実現します。
特長
- 気体接触部にオイルを使用しないドライ真空ポンプ
- 圧力性能を向上させた高圧力タイプのドライ真空ポンプ
- ターボ分子ポンプのバックポンプとして使用可能
- 自動保護機能を内蔵した安全設計
- 大気圧からの運転が可能
- シンプルな構造でメンテナンスが容易
用途
- ターボ分子ポンプの補助ポンプ（バッキングポンプ）
- 分析装置
- 生化学分析装置
- ガス充填装置
- 真空乾燥装置
- 真空コーティング装置 など
仕様
