ULVAC Vietnam Representative Office
真空ロールコーター
EWAシリーズ
金属および酸化物材料の成膜に対応したIH加熱式ロールコーターです。プロセスの最適化に向けて、各種前処理・後処理機構の搭載が可能です。また、膜厚計や抵抗率モニターなど、多様なインラインモニタリング機能も追加できます。
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金属および酸化物材料の成膜に対応したIH加熱式ロールコーターです。プロセスの最適化に向けて、各種前処理・後処理機構の搭載が可能です。また、膜厚計や抵抗率モニターなど、多様なインラインモニタリング機能も追加できます。
