ULVAC Vietnam Representative Office
APIOS NE-950EX ドライエッチング装置
LED量産用ドライエッチング装置 NE-950EX
特長
- 従来機比140％の高スループットを実現。
- 6インチウェーハ：3枚同時処理対応。
- 4インチウェーハ：7枚同時処理対応。
- 3インチウェーハ：12枚同時処理対応。
- 2インチウェーハ：最大29枚のバッチ処理に対応。
- 化合物半導体市場で600台以上の導入実績を持つ、磁場付ICP（ISM※1）高密度プラズマ源を搭載。
- 堆積膜をRFウィンドウから自動除去するスター電極（※2）を搭載。
- 再付着（リデポジション）を抑制する設計により、高い稼働率・安定性・信頼性を実現。
- GaN、サファイア、金属、ITO、SiC、AlN、ZnO、4元系化合物半導体など、多様な材料に対応したドライエッチングプロセスを提供。
- 豊富なオプションを用意。
用途
LEDデバイス向けGaN、サファイア、金属、ITOなどのドライエッチング
