ULVAC Vietnam Representative Office
DCS0052B 소형 DC 전원 공급 장치
DCS 시리즈 소형 DC 전원 공급 장치는 뛰어난 가격 대비 성능을 제공하며, 다양한 응용 분야에서 활용되고 있습니다. 또한 아크 억제 장치 A2K와 함께 사용하면 반응성 스퍼터링 공정에서 우수한 성능을 발휘합니다.
특징
- 출력 안정성 향상 (1%~100% 범위에서 평가)
- 노즐 교체 없이 다양한 출력 범위 지원
- 2종류의 아크 검출 기능 탑재
- 절연 방식에 의한 외부 노이즈 대책 지원 (옵션)
- 3가지 운전 모드 선택 가능 (전력 / 전류 / 전압)
- 최대 +100V까지 플로팅 출력 가능
응용 분야
- Al, Ni 및 기타 금속의 스퍼터링 공정에 사용
사양
| Model | DCS0052B | |
| Maximum output power | 500W | |
| Output range | Power | 5W～500W |
| Voltage | 80V～800V | |
| Current | 0.0012A～1.25A | |
| External dimensions (WDH) mm | 240 x 450 x 99 | |
| Weight | 9kg | |
ULVAC은 베트남에서 최고 품질의 진공 장비 및 진공 부품을 공급하는 공식 공급업체입니다.
또한 고객에게 최상의 서비스를 제공하기 위해 ULVAC 제품뿐만 아니라 타사 진공 장비에 대해서도 다양한 유지보수 및 수리 서비스를 제공하고 있습니다.
