ULVAC Vietnam Representative Office
DCS0052B 小容量DC電源装置
DCSシリーズ小容量DC電源装置は、優れたコストパフォーマンスを実現し、さまざまな用途に対応しています。アークサプレッサ「A2K」と組み合わせて使用することで、反応性スパッタリングにおいて優れた効果を発揮します。
特長
- 出力制御性能を向上
- 定格出力の**1～100％**の範囲で安定した制御が可能です。
- タップ切替不要のワイド出力レンジ
- タップの切替なしで、幅広い出力範囲に対応します。
- 2種類のアーク検出機能を標準搭載
- 用途に応じたアーク検出方式を選択できます。
- 絶縁仕様による外来ノイズ対策（オプション）
- アイソレーション機能（オプション）により、外部ノイズの影響を低減します。
- 3種類の動作モードを選択可能
- 電力制御・電流制御・電圧制御の3つの動作モードを選択できます。
- 最大＋100Vのフローティング出力に対応
- ＋100Vまでのフローティング出力が可能です。
用途
- Al、Niおよびその他の金属スパッタリングプロセス向け( vacuum sputtering system)
DCSシリーズ 小容量DC電源装置 標準仕様
| Model | DCS0052B | |
| Maximum output power | 500W | |
| Output range | Power | 5W～500W |
| Voltage | 80V～800V | |
| Current | 0.0012A～1.25A | |
| External dimensions (WDH) mm | 240 x 450 x 99 | |
| Weight | 9kg | |
ULVACは、ベトナムにおいて高品質な真空機器および真空部品を提供する正規販売代理店として、お客様に最適なソリューションを提供しています。さらに、ULVAC製品に加え、他社製真空機器の保守・点検・修理サービスも幅広く提供し、お客様に最高品質のサービスをご提供できるよう努めています。
