ULVAC Vietnam Representative Office
에칭 시스템
ULHITETMNE-7800H
ULHITETM NE-7800H는 NVM(비휘발성 메모리)용 난식각성 소재를 비롯하여 유전체, 귀금속 및 자성층을 식각하기 위한 저압·고밀도 플라즈마 클러스터형 에칭 시스템입니다. 적용 가능한 NVM 소재에는 FeRAM, MRAM, ReRAM, CBRAM, PCRAM 등이 포함됩니다.
Gemini-200,300
Gemini는 하나의 공통 이송 코어에 다양한 공정 모듈을 구성하여, 동일한 공용 부품을 최대한 활용함으로써 교체 부품을 최소화할 수 있습니다. 또한 각 모듈에 동일한 제어 패널을 적용하여 조작 편의성을 향상시키며, 첨단 전자 소자 생산 공정의 효율성을 더욱 높일 수 있습니다.
