ULVAC Vietnam Representative Office
エッチング装置
ULHITETMNE-7800H
ULHITE™ NE-7800Hは、低圧・高密度プラズマを採用したクラスタ型エッチングシステムであり、NVM材料（FeRAM、MRAM、ReRAM、CBRAM、PCRAMなどに使用される難エッチング材料）、誘電体材料、貴金属、および磁性膜のエッチングに対応しています。
Gemini-200,300
Geminiは、共通の搬送プラットフォーム上にさまざまなプロセスモジュールを搭載できるモジュール型システムです。部品の共通化を最大限に図ることで交換部品を最小限に抑えるとともに、異なるモジュール間で共通の操作パネルを採用することで操作性を向上しています。これにより、先端電子デバイスの製造プロセスにおける生産効率をさらに向上させます。
