ULVAC Vietnam Representative Office
量産用ドライエッチングシステム NE-5700 / NE-7800
優れたコストパフォーマンスと豊富な装置構成オプションを備えた、量産向けドライエッチングシステムです。
特長
- ICPチャンバーに加え、NLDプラズマエッチングチャンバー、アッシングチャンバー、およびCCPチャンバーを選択可能です。
- STAR電極（ULVAC特許）および各種温度制御機能の採用により、優れたプロセス安定性と再現性を実現します。
- シンプルなメンテナンス構造により、ダウンタイムを最小限に抑えます。
- ULVAC半導体・電子技術研究所によるプロセス開発から量産化までのトータルサポートを提供します。
用途
- 化合物半導体デバイス（LED、LD、RFデバイス）
- パワーデバイス（IGBT、SiC）
- 金属、誘電体、ポリマー、ゲート電極のエッチング
- 強誘電体材料および貴金属のエッチング
- 強磁性材料のエッチング
