ULVAC Vietnam Representative Office
고밀도·저가속 이온 주입 시스템 SOPHI-30
SOPHI-30은 질량 분석기 없이 고밀도·저가속 이온 주입이 가능한 클러스터형 시스템으로, 박형 웨이퍼 처리를 지원합니다.
특징
- 클러스터형
- 박형 웨이퍼 처리 대응
- 질량 분석기(질량 분리기) 미탑재
장점
- 고밀도·저가속·고플럭스 이온 주입
- 기존 이온 주입 장비 대비 약 50% 수준의 가격
- 기존 이온 주입 장비 대비 약 1/3의 설치 면적
응용 분야
- 전력 소자 및 IGBT 제조 공정
- 최대 200 mm 웨이퍼 처리
