ULVAC Vietnam Representative Office
ヘリウムガスによるリーク検査
**ヘリウムガスによるリーク検査（Helium Leak Test）**は、高い検出感度を持つ検査方法であり、設備、真空チャンバー、および高い気密性が求められるシステムのリークを検出・評価するために使用されています。
アルバック・ベトナムは、アルバック製HELIOTヘリウムリークディテクターを使用したヘリウムガスによるリーク検査サービスを提供し、お客様の設備の気密性の確認およびリーク状態の特定をサポートします。
1. どのような場合にヘリウムガスによるリーク検査が必要なのか？
- 必要な真空度に到達しない場合
- ポンプダウン時間が異常に長くなった場合
- 真空チャンバーや真空配管にリークが疑われる場合
- 装置の設置、メンテナンス、修理後に気密性を確認する場合
- リークの位置やリーク量を特定する必要がある場合
早期にリーク検査を実施することで、重大な故障や生産ラインの停止につながる問題を未然に発見することができます。
2. ULVAC製HELIUM LEAK DETECTORによるリーク検査サービス
アルバック・ベトナムは、HELIOTヘリウムリークディテクターを使用し、真空設備や真空システムのリーク検査を実施しています。
サービス内容は以下のとおりです。
- リーク状態の確認・評価
- ヘリウムによるリーク位置の特定
- リーク量の評価
- 設備の設置、メンテナンス、修理後の気密性確認
- リーク原因の特定および対策のご提案
アルバック・ベトナムは、装置を販売するだけでなく、リーク検査を一貫してサポートする総合的なサービスを提供しています。
3. ULVAC HELIOT 900の主な仕様
アルバックのHELIOT 900シリーズは、高い検出感度と安定した測定性能が求められるリーク検査用途向けに設計されています。
| 仕様項目 | 仕様値 |
|---|---|
| 最小検出リーク量 | < 5 × 10⁻¹³ Pa·m³/s |
| 検出ガス | ヘリウム（⁴He）、水素（²H₂） |
| テストポートでのHe排気速度 | > 5 L/s（Ultra Flow） |
| 最大接続圧力 | < 1,200 Pa |
| 起動時間 | 約2分 |
| 検査モード | Auto / Ultra / Fine / Gross / Sniffer |
| 通信インターフェース | RS232C / RS485 / Analog DC / Digital I/O |
4. 工場でのリーク検査サポート
アルバック・ベトナムのエンジニアが、お客様の工場でヘリウムによるリーク検査をサポートし、問題を迅速に特定するとともに、設備の停止時間を短縮します。
アルバック・ベトナムまでお問い合わせください。お客様のリーク検査要件について、迅速にご相談・評価いたします。
