真空装置の設置

アルバック・ベトナムは、工場および産業用生産ライン向けに、真空装置・真空システムの設置サービスを提供しています。
単体装置の設置から真空システム全体の導入まで、お客様のさまざまなニーズに対応します。

以下の装置・システムの設置に対応しています。

• 真空熱処理炉（Vacuum Heat Treatment Furnace）
• 真空ろう付け炉（Vacuum Brazing Furnace）
• 真空焼結炉（Vacuum Sintering Furnace）
• 真空誘導溶解炉（Vacuum Induction Melting Furnace）
• PVD / スパッタリングシステム
• CVDシステム
  
  • PE-CVD
  • Thermal CVD
• エッチング / ドライエッチングシステム
• プラズマアッシング / レジスト剥離システム
• イオン注入システム
• 蒸着 / 真空蒸着システム

現地調査・ソリューション提案

設置前に、アルバックのエンジニアが工場の現場環境を調査し、お客様の技術要件や生産プロセスを確認します。
その上で、設備の仕様や設置条件に適した設置方法および最適な装置構成をご提案します。

専門エンジニアによる設置

設置作業は、真空技術に関する豊富な経験と専門知識を持つアルバックのエンジニアが実施します。
装置および関連する各種部品・構成機器を技術要件に従って適切に設置・接続し、日本の技術基準に準拠した施工を行います。

システムの点検・試運転

設置完了後、アルバックがシステムの点検、試運転および各種パラメータの調整を行います。
これにより、必要な到達真空度、ポンプダウン時間、および安定したシステム運転を確保します。