ULVAC Vietnam Representative Office
PFL-22、PFL-36、PFL-52型 油拡散ポンプ
ULVACのPFL型油拡散ポンプは、長年にわたる研究開発と豊富な製造経験に基づいて設計・製造された高真空ポンプです。 高真空を必要とする多くの工場や設備で採用されており、長期間の使用実績により高い評価と信頼を得ています。
特長
- 同等径の他社製ポンプと比較して、優れた高排気速度を実現
同じ口径の他社製油拡散ポンプと比べ、より高い排気性能を発揮します。 - オイル逆流がほとんど発生しないクリーンな真空環境
油蒸気の逆流を大幅に低減し、清浄度の高い真空環境を維持できます。 - 低消費電力・少量オイルで高い運転効率を実現
必要な電力とオイル量を抑えながら、優れた性能を維持し、工場のランニングコスト削減に貢献します。 - メンテナンス性に優れた設計
油拡散ポンプの保守・点検作業が容易に行える構造を採用しています。 - 高精度な製造と完全なリーク検査
高度な溶接技術により製造され、ヘリウムリークディテクターによる完全な漏れ検査を実施しています。そのため、仕様値と実際の性能の高い一致性を確保しています。
仕様
| 型式 | PFL-22 | PFL-36 | PFL-52 | ||||||||
| 排気速度（L/s） | 10000 | 34000 | 70000 | ||||||||
| 到達圧力（Pa）*1 | 3.0×10-4 | ||||||||||
| 最大背圧（Pa） | 16 | 6.7 | 16 | ||||||||
| 昇温時間（min） | 40 | 60 | 60 | ||||||||
| オイル | ULVOIL D-11 | ||||||||||
| オイル容量（L） | 5 | 13 | 27 | ||||||||
| 冷却水温度（℃） | 19～25℃ | ||||||||||
| 冷却水配管サイズ | Rc 1/2×2 | Rc 1/2×4,3/8×2 | |||||||||
| 冷却水流量（L/min） | 12 | 38 | 50 | ||||||||
| 電圧 | 200V / 3φ | ||||||||||
| ポンプ電源（kW） | 8 | Start-Up 22 Normal 11 | Start-Up 45 Normal 30 | ||||||||
| ヒータ方式 | colled element | ||||||||||
| 標準バックポンプ*2 | PMB-040C＋PKS-070 (PMB1200D＋PKS-030) | PMB-040C＋PKS-070 (PMB1200D＋PKS-070) (PMB2400D＋PKS-070) | PMB-060C＋PKS-070×2台 PMB2400D＋PKS-070 | ||||||||
| 寸法（mm）*3 | A | 480 | 725 | 1000 | |||||||
| B | 630 | 1022 | 2000 | ||||||||
| H | 1330 | 1732 | 2845 | ||||||||
| 吸気口 | VG550 | VG900 | VG52相当inch | ||||||||
| 排気口 | VG150 | VG250 | VG350 | ||||||||
| 質量（kg） | 290 | 650 | 1400 | ||||||||
| オイルレベルゲージ | オイルレベル表示窓 | ||||||||||
| オイルレベル表示窓 | あり | ||||||||||
| 温度スイッチ作動温度（℃） | 180 | 110 | 110 | ||||||||
水冷バッフル（PBL）
| 型式 | BW-22 | BW-36 | BW-52 | ||||||||
| 排気速度（L/s） | 14000 | 54000 | 75000 | ||||||||
| 寸法［mm］ | D | φ680 | φ1065 | φ1480 | |||||||
| T | 101 | 113 | 165 | ||||||||
| t | 26 | 28 | 35 | ||||||||
| 冷却水配管サイズ | Rc 3/8 | Rc 1/2 | |||||||||
| 冷却水流量［L/min］ | 3 | 5 | 5 | ||||||||
| 質量（kg） | 28 | 66 | 200 | ||||||||
※1：到達圧力は、冷却水温度20℃において電離真空計で測定した値です。
※2：ここで選定しているバックポンプは、油拡散ポンプの最大スループットを得るためのものです。通常、大容量の油回転ポンプと大容量メカニカルブースターポンプを組み合わせて使用します。
※3：その他の寸法については、弊社ウェブサイトに掲載しているCADデータをご確認ください。
