ULVAC Vietnam Representative Office
ドライスクロールポンプ MODEL DIS-90, DIS-252, DIS-501
DIS / DISLシリーズのスクロール真空ポンプは、1つの旋回スクロールと2つの固定スクロールで構成されたダブルラップ方式を採用しています。 大気圧からの運転が可能で、高い到達圧力を実現します。 低振動・低騒音設計により、静かで安定した運転が可能です。 また、稼働時間計（アワーメーター）により、メンテナンス周期を管理することができます。
特長
- コンパクトなサイズでありながら、大流量を実現。
- ドライ真空ポンプの中でも最高クラスの到達圧力を実現。
- サーマルプロテクターを内蔵した安全設計。
- ガスパージ機能により、水分蒸気の凝縮を防止。
用途
- 分析装置
- ガス回収システム
- コーティング装置
- ターボ分子ポンプ（TMP）の補助ポンプ（バックポンプ）
- ヘリウムリークディテクター（Helium Leak Detector）
- 半導体製造プロセス
仕様
※1：実際の排気速度は、大気圧でガスを吸引した場合の排気速度の約1.2倍です。
※2：電源プラグ付きケーブルは含まれておりません。
※3：AF＝エアフラッシュ（ガスパージ）
エアフラッシュ機能は、ポンプ内部に残留した水分を排出するだけでなく、到達圧力の回復にも効果があります。
対応認証規格 / 電圧
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：標準仕様、○：オプション、－：適用なし
認証規格について
※cTUV：カナダの安全規格に適合した高品質製品であり、国際的な第三者機関による製品安全試験および認証を取得した製品です。
注意
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１
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ポンプ内に粉塵や製品などを吸引すると、故障の原因となる可能性があります。
必ず吸込口フィルターなどを使用してください。 |
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２
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人体に有害なガス、爆発性・可燃性・腐食性ガスは吸引しないでください。
これらのガスを吸引すると、故障、爆発、発火の原因となる恐れがあります。 |
外形寸法図
