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小型ドライ真空ポンプ DA/DAP/DATシリーズ
小型ドライ真空ポンプ DA/DAP/DATシリーズは、ゴム製ダイヤフラム（隔膜）の往復運動によって真空を発生させるダイヤフラム式真空ポンプです。シンプルな構造で、取り扱いが容易です。DAシリーズは標準タイプとしてラインアップされています。
特長
- メンテナンスが容易な構造を採用し、オイルフリーのクリーンな真空環境を提供します。
- 用途に応じて、さまざまな排気速度や多段構成を選択でき、必要な圧力・排気量に対応可能です。
用途
- 真空チャック、ウェハ・チップ搬送／処理装置
- 真空ピンセット、医療機器
- 印刷装置
- 自動包装装置
- 光学関連装置
仕様
