Đây là một máy bơm chân không hút chân không bằng chuyển động qua lại của một màng mỏng cao su (màng ngăn). Cấu trúc đơn giản và dễ dàng xử lý. Dòng DA là một loại tiêu chuẩn.
ĐẶC ĐIỂM
Cấu trúc máy bơm giúp bảo trì dễ dàng và cung cấp môi trường chân không không dầu
Có thể lựa chọn nhiều tốc độ bơm khác nhau và sắp xếp giai đoạn tùy thuộc vào yêu cầu của bạnáp suất và khối lượng bơm
ỨNG DỤNG
Mâm cặp chân không, wafer và thiết bị xử lý đầu tip