ULVAC Vietnam Representative Office
UTM300B型ターボ分子ポンプ
UTM-Bターボ分子ポンプは、セラミックボールベアリングを採用したターボ分子ポンプで、優れた圧縮比を実現しています。 コントローラ一体型設計により、コンパクトな構造を実現し、高い背圧性能により、より小型の補助ポンプの使用が可能です。
特長
- 取付方向の制限なし
取付方向を自由に選択できるため、システム設計の自由度が高まります。 - 基板内蔵型コントローラ
ポンプ本体にコントローラを内蔵することで、配線量の削減およびポンプシステムの小型化を実現します。 - 高圧縮比・高背圧性能
高い圧縮比により、高い背圧条件下での運転が可能となり、バックポンプの小型化に貢献します。 - 3種類の吸気フランジを選択可能
ISO100-K、ICF152、VG100から用途に応じて選択できます。 - クリーンな真空環境を実現
ポンプ運転中および停止中の炭化水素ガスの逆流を低減します。 - 低騒音設計
無負荷運転時の騒音レベルは50dB以下（ISO-100Kフランジ使用時）。 - 適用規格
CEおよびNRTL規格に適合。
UTM-Bターボ分子ポンプの用途
- 分析装置、研究開発（R&D）装置、実験装置などの主排気ポンプシステム
- 蒸着装置、スパッタリング装置などの主排気ポンプシステム
- H₂、Heなどの低分子量ガス排気用主排気ポンプシステム
仕様
Model | UTM300B | |||
| Cooling method | Natural air cooling | Forced air cooling（fan） | ||
| Inlet Flange *1 | VG100, ICF152, ISO100-K | |||
| Outlet Flange | KF16 | |||
| Pumping speed (without a protection screen) | N2 | 280 L/s | ||
He | 270 L/s | |||
H2 | 220 L/s | |||
| Ultimate pressure (With 2stage back pump) | After baking | *2 | 10-8Pa | |
Before baking | 10-6Pa | 10-6Pa | ||
| Max. compression rate | N2 : >1×109, He : 7×106, H2 : 1×105 | |||
| Max. pressure at inlet of N2 *3, *4, *5 | N2 | 0.06Pa | 0.7Pa | |
| Max. pressure at outlet of N2 *3, *4, *6 | N2 | 100Pa | 1000Pa | |
| Continuous running maximum flow *7 when 120L/m backing pump is used | Without gas purge | N2 | 10sccm | 100sccm |
Without gas purge | Ar | – | 30sccm | |
With gas purge | – | 40sccm | ||
| Recommend backing pump (when evacuating 10SCCM) *8 | >120L/min | |||
| Weight | VG, ISO / ICF | 6kg / 9kg | 6.3kg / 9.3kg | |
| Rotation speed | 60000rpm | |||
| Start-up time (Up to 80) (DC24V. Back pressure: 5Pa or less). | 3.5 min | |||
| Surface treatment *9 | None | |||
| Mounting direction | All direction | |||
| Noise *10 | <50dB（A） | |||
| Standard accessories | Each of instruction Manua (l English and Japanese), protection screen (for VG and ICF. Cap of ISO Flange is built into the gasket), gasket (for Inlet), dust cap (or Inlet, outlet and connector). | |||
UTM-Bターボ分子ポンプ 標準仕様表 注記
※1：吸気フランジは、ご注文時にVG100、ICF152、ISO100-Kから選択可能です。
※2：加熱は、ICFフランジ仕様の強制空冷タイプのみ対応可能です。
※3：周囲温度25℃における値です。周囲温度が変化する場合、許容値も変化します。
※4：最大出口圧力と最大入口圧力を同時に満たすことはできません。
※5：連続運転可能な最大吸気口圧力です。
※6：吸気口からのガス流量が0 mL/minの場合に、連続運転可能な最大排気口圧力です。
※7：周囲温度5～25℃における値です。また、パージガスにはN₂を使用し、流量は0.4 mbarL/s（25 sccm）としてください。
※8：ガス流量増加時に排気口圧力が最大値を超えないよう、適切なバックポンプを選定してください。
※9：反応性ガス、腐食性ガス、およびガリウムを含むガスには使用できません。その他のガスを使用する場合は、弊社までお問い合わせください。
※10：ISOフランジ仕様については、ULVAC規格に基づいて測定した値です。
