ULVAC Vietnam Representative Office
A2Kシリーズ アークサプレッサ
A2Kシリーズ アークサプレッサは、直流電源に正電圧パルスを印加してターゲット上に蓄積した電荷を中和し、異常放電（アーク）の発生を抑制します。既存の装置へ容易に組み込むことができ、低コストで歩留まりおよび生産性の向上に貢献します。
特長
- 高スループットを実現
- 異常放電（アーク）を低減することで、高入力電力での成膜が可能になります。
- 基板ダメージを低減
- アークによる基板へのダメージを効果的に低減します。
- 基板温度の上昇を抑制
- RFスパッタリングと比較して、基板表面温度の上昇を抑制できます。
- 簡単な接続
- 既存の装置へ容易に接続できます。※1
- 可変リバースパルス周波数
- 設定範囲：
- A2KH-25/50：1kHz～20kHz
- A2K-20K/40K：1kHz～50kHz
- 設定範囲：
- パルス同期機能
- 複数のA2Kユニットの出力パルスを同期させることができます。※2、※3
- マスター／スレーブ並列運転に対応
- A2K-20K/40Kは、最大6台まで並列運転が可能です。
用途：パルス同期システム
A2Kシリーズ アークサプレッサ
複数のカソードが同一チャンバー内で近接して対向配置されている場合や、複数のA2Kユニット間で放電干渉が発生する場合には、位相制御機能によりA2Kの逆パルスを同相または逆相に設定することができ、放電干渉を効果的に抑制します。※3、※4
注記
※1：ULVAC DPGシリーズDC電源装置と接続可能です。
※2：A2KH-25/50とA2K-20K/40Kを混在して使用する場合、パルス同期および並列運転はできません。
※3：A2KH-25/50では、外部同期装置（PHSM／PHSS）が必要です。
※4：A2K-20K/40Kは、同相位相制御のみに対応しています。
A2Kシリーズ アークサプレッサ 用途
- FPD（フラットパネルディスプレイ）用反応性スパッタリング装置 ( vacuum sputtering system)
- 工業用コーティング向け反応性スパッタリング装置
- カラーTFT用反応性スパッタリング装置
仕様
| Model | A2KH-25 | A2KH-50 | A2K-20K | A2K-40K | |
| Control power input | Input | AC90 to 110V | AC100 to 240V | ||
| Frequency | Single phase 50/60Hz | ||||
| Power | 100VA | 120VA | 400VA | ||
| Leak current | 1mA or less | ||||
| Input specification | operating voltage | -100 to -800V | |||
| operating current | 0 to 25A | 0 to 50A | 0 to 50A | 0 to 100A | |
| Input structure | Connector connection | Terminal block or connector connection | Connector connection | ||
| Output specification | Pulse range | 5μs/10μs ( Internal switch switching ) | 1 to 18μs (There is a frequency limitation) | ||
| Oscillating frequency | ・Pulse range 5μs： 2,5,10,15,20kHz ・Pulse range 10μs： 1,2.5,5,7.5,10kHz | 1 to 50KHz Variable in 1KHz increments | |||
| Inversion pulse voltage | 10 to 20％ of the DC power generator output voltages. ( It depends on a load impedance ) | ||||
| Withstand voltage | continuous operation | -1500Vdc | |||
| Parallel operation | Nothing | Up to 6units can be controlled *5 | |||
| Cooling method | Forced air-cooling | ||||
| Dimension（W×D×H) | 238×450×149mm | 430×450×149mm | 483×630×177mm | ||
| Weight | 16kg | 27kg | 30kg | 45kg | |
| Applicable standard | RoHs | ||||
周囲使用温度：5～40℃（結露なきこと）
使用環境：直射日光・高温・粉塵・振動を避け、腐食性ガスのない環境で使用してください。
※5：A2K-20KとA2K-40Kは混在して使用できません。
