ULVAC Vietnam Representative Office
가스 분석기 (RGA)
“Qulee”는 ULVAC의 최신 잔류 가스 분석 및 모니터링 모델입니다. ULVAC Qulee는 높은 분해능을 통해 고압(1Pa) 환경에서도 높은 정확도의 측정을 실현합니다. 또한 Qulee는 간편한 주문 방식과 사용하기 쉬운 설계를 갖추고 있어 편리하게 사용할 수 있습니다.
특징
- 다양한 스퍼터링 시스템의 공정 모니터링에 적합
- 차동 배기 시스템 불필요: 1Pa (7.5 × 10⁻³ Torr / 1 × 10⁻² mbar) 이하에서 사용 가능
- 내장 디스플레이: PC 없이도 사용 가능
- 간편한 조작: “One Click” 기능으로 손쉽게 측정 가능
- 고온 베이크 기능: 최대 120℃ (248℉), 센서 제거 시 최대 250℃ (482℉)
- 전자 충격 이온화 방식: Electron Impact (EI) 방식 적용
- 유지보수 지원 기능: 2차 전자 방출 및 2차 이온 소스 보호 기능 제공
- 분석 튜브 추적 관리 기능: 분석 튜브의 이력 및 추적 관리가 가능하며, 특허 출원 중
- 다양한 누설 검사 기능: 헬륨 누설 검사, 공기 누설 검사 및 통합 누설 검사가 가능
- 전체 압력 측정 기능: 이온화 게이지를 이용하여 전체 압력 측정 가능
- Qulee QCS 포함: Windows 8/10과 호환되는 분석 소프트웨어 제공
- QIP (Quick Installation Package) 포함: 자동 측정 패키지 제공 ※ 자세한 내용은 옵션 카탈로그 참조
- CE 규격 준수
응용 분야
- PV, FPD 및 반도체 장비의 공정 모니터링
- PVD 시스템의 잔류 가스 분석
- PVD 시스템 내 H₂O 등의 불순물 관리
- 누설 검사 및 자동 누설 검사 장비(Auto Leak Test Machine)
사양표
| Model | CGM2-051 | CGM2-052 |
| Mass filter type | Quadrupole | |
| Mass range | 1 to 50 amu | |
| Resolution | M/ΔM=1M (10% P.H.) | |
| Detector type | Faraday cup (FC) | EM Tube (SEM) / Faraday cup (FC) |
| Sensitivity | 10?? A/Pa | SEM:10?? A/Pa |
| 1.33×10?? A/Torr | SEM:1.33×10?? A/Torr | |
| 10?? A/mbar | SEM:10?? A/mbar | |
| Minimum detectable partial pressure | 1×10?? Pa | SEM:1×10-10 Pa |
| 7.5×10-10 Torr | SEM:7.5×10-13 Torr | |
| 1×10?? mbar | SEM:1×10-12 mbar | |
| Maximum operating pressure | FC:2 Pa | FC:2, SEM:1×10?? Pa |
| FC:1.5×10?? Torr | FC:1.5×10?? SEM:7.5×10?? Torr | |
| FC:2×10?? mbar | FC:2×10?? SEM:1×10?? mbar | |
| Linearity | 1Pa | |
| 7.5×10?? Torr | ||
| 1×10?? mbar | ||
| Filament | lr/Y?O? | |
| Ionzing voltage | 40eV | |
| Emission current | 0.1mA/0.4mA | |
| Degas | Electron bombard type 300V,5mA | |
| Total pressure function | Capable | |
| One Click function | Capable/He/H?O/N?/O?/Any gas | |
| One Click leak test function | Capable | |
| Power input | DC24V ±10% 50W | |
| Weight(Sensor unit/sensor) | 2.1kg/0.44kg | 2.2kg/0.44kg |
| Maximum sensor operating temperature | 120℃(248?) | |
Maximum bakeout temperature (electronics removed) | 250℃(482?) | |
| Operating temperature range | 10 to 40℃ (50 to 104?) | |
| Operating humidity range | 15 to 80% (not condensing) | |
| IP rating | IP30 (sensor unit) | |
| Power connector | MSTB2.5/3-STF-5.08 | |
| Communication interface | RS232C/RS485 (with option) | |
| External input/output connector | D-sub15-pin (M2.6 screw) | |
| Communication connector | RJ-45 | |
| External input/output signal | Analog input(0 to 10V)×2,External interlock input(pressure protection)×1,Partial pressure setpoint output ×2(fault,alarm),Total pressure setpoint output ×1 | |
| Software | Qulee QCS Ver. 4.0 later (Windows 8/10) | |
| Standard accessories | Power connector,Communication cable(3m long),Software(install CD),Instruction manual(clean paper) | |
Optional accessories (Cf. Qulee optional catalogue) | QIP(Auto-measuring package spec.),Communication cable(5m,10m,15m long),AC Power adapter,USB-LAN adapter,Swinting hub(8 ports or 16ports),Input / output connecter,Jacket heater,Carry case | |
| Applicable standard | CE | |
※ PC에 RS232C 포트가 없는 경우: Micro USB / RS232C 변환 어댑터(옵션)를 구매하여 사용하십시오.
※ AC/DC 전원 공급 장치: 별도로 준비하거나 AC/DC 변환 어댑터(옵션)를 구매하십시오
특징
- 뛰어난 가격 경쟁력
- RGA(잔류 가스 분석기) 응용 분야에 적합합니다.
- Ethernet 통신 지원
- Ethernet 인터페이스를 지원합니다.
- 내장 디스플레이를 탑재하여 PC 없이 사용할 수 있습니다.
- 간편한 조작
- “One Click” 기능을 통해 간단하고 편리하게 조작할 수 있습니다.
- 고온 베이크 기능
- 최대 **120℃ (248℉)**까지 베이크가 가능합니다.
- 센서를 제거한 경우 최대 **250℃ (482℉)**까지 대응할 수 있습니다.
- 전자 충격 방식 디개싱
- Electron Impact 방식의 Degas 기능을 제공합니다.
- 보호 및 유지보수 기능
- 2차 전자 증배기 및 2차 이온 소스를 보호하고 유지보수할 수 있는 기능을 제공합니다.
- 다양한 누설 검사 기능
- 헬륨 누설 검사
- 공기 누설 검사
- 통합 누설 검사
- 전체 압력 측정
- 전체 압력 측정이 가능합니다.
- Qulee QCS 포함
- Qulee QCS 소프트웨어가 기본 제공되며 Windows 7/8/10과 호환됩니다.
- CE 규격 준수
- 해당 CE 규격을 준수합니다.
응용 분야
- 유기발광소자(OLED)용 잔류 가스 분석
- PV, FPD 및 반도체 생산 시스템의 잔류 가스 모니터링
- PVD 및 진공 증착 시스템의 잔류 가스 분석
- 고진공 펌프 장비 등의 잔류 가스 분석
- 동결건조 시스템의 잔류 가스 분석
- 다양한 연구개발(R&D) 분야의 가스 분석
사양표
- 분해능: M/ΔM = 1M (10% P.H.)
| Model | BGM2-101 | BGM2-201 | BGM2-102 | BGM2-202 |
| Mass filter type | Quadrupole | |||
| Mass range | 1～100 amu | 1～200 amu | 1～100 amu | 1～200 amu |
| Detector type | Faraday cup | EM tube Faraday cup | ||
| Sensitivity | 10-7A/Pa | 4A/Pa | ||
| Minimum detectable partial pressure | 10-8Pa | 10-12Pa | ||
| Maximum operating pressure | 1×10-2Pa | |||
| Total pressure function | Capable/10-2 ～ 10-5Pa | |||
| One Click function | Capable /He/H2O/N2/O2/Any gas | |||
| One Click leak test function | Capable | |||
| Power input | DC24V±10％ 50W | |||
| Maximum sensor operating temperature | 120℃ (248?) | |||
| Maximum bakeout temperature (electronics removed) | 250℃ (482?) | |||
| Operating temperature range | 10 to 40℃ (50 to 104?) | |||
| Software | Qulee QCS Ver.4.0 later (Windows 7/8/10) | |||
| Applicable standard | CE | |||
ULVAC의 새로운 잔류 가스 분석기 **“Qulee HGM2”**는 혁신적인 간편성을 실현한 최신 모델입니다. 모든 모델 중 최고 수준인 2.5 × 10⁻⁶ A/Pa의 높은 감도를 제공하며, 다양한 연구개발(R&D) 및 진공 시스템 모니터링 요구에 대응할 수 있습니다. 또한 Ethernet 통신을 지원합니다.
특징
- R&D 응용 분야에 최적화
- 모든 모델 중 최고 수준인 2.5 × 10⁻⁶ A/Pa의 높은 감도를 제공합니다.
- 3.3 × 10⁻⁴ A/Torr, 2.5 × 10⁻⁴ A/mbar에 해당합니다.
- Ethernet 통신 지원
- Ethernet 인터페이스를 지원합니다.
- 내장 디스플레이를 탑재하여 PC 없이도 사용할 수 있습니다.
- 간편한 조작
- “One Click” 기능을 통해 간단하고 직관적인 조작이 가능합니다.
- 고온 베이크 기능
- 최대 **250℃ (482℉)**까지 베이크가 가능합니다.
- 센서를 제거한 경우 최대 **300℃ (572℉)**까지 대응할 수 있습니다.
- 전자 충격 방식 디개싱
- Electron Impact 방식의 Degas 기능을 제공합니다.
- 간편한 유지보수
- 필라멘트, 이온 소스 및 2차 전자 증배기(SEM)를 쉽게 교체할 수 있습니다.
- 보호 및 유지보수 기능
- 이온 소스와 2차 전자 증배기를 보호하고 유지보수할 수 있는 기능을 제공합니다.
- 분석 튜브의 이력 추적 기능을 지원합니다.
- 일본 특허 제5016031호
- 다양한 누설 검사 기능
- 헬륨 누설 검사
- 공기 누설 검사
- 통합 누설 검사
- 전체 압력 측정
- 이온화 게이지를 이용하여 전체 압력을 측정할 수 있습니다.
- Qulee QCS 포함
- Qulee QCS 소프트웨어가 기본 제공됩니다.
- Windows 7/8/10과 호환됩니다.
- CE 규격 준수
- 해당 CE 규격을 준수합니다.
응용 분야
- 열탈착 가스 분석 등 연구개발(R&D)
- 초고진공용 진공 펌프 시스템 등의 잔류 가스 분석
- 가스 내 불순물 추적 및 분석
- 광전지 분야의 연구개발(R&D)
- 유기 화합물 분석
- 환경 측정
사양표
| Model | HGM2-202 | HGM2-302 | ||
| Mass filter type | Quadrupole | |||
| Mass range | 1 ~ 200 amu | 1 ~ 300 amu | ||
| Resolution | M/ ΔM=1M(10% P.H.) | |||
| Detector type | Faraday cup | SEM | Faraday cup | SEM |
| Sensitivity | 2.5×10?? A/Pa | 4 A/Pa | 2.0×10?? A/Pa | 4 A/Pa |
| 3.3×10?? A/Torr | 533 A/Torr | 3.3×10?? A/Torr | 533 A/Torr | |
| 2.5×10?? A/mbar | 400 A/mbar | 2.5×10?? A/mbar | 400 A/mbar | |
Minimum datectable partial pressure | Approx. 10?? Pa | Approx. 10-13Pa | Approx. 10?? Pa | Approx. 10-13Pa |
| Approx. 7.5×10-12 Torr | Approx. 7.5×10-16 Torr | Approx. 7.5×10-12 Torr | Approx. 7.5×10-16 Torr | |
| Approx. 1×10-11 mbar | Approx. 1×10-12 mbar | Approx. 1×10-11 mbar | Approx. 1×10-12 mbar | |
| Maximum operating pressure | 1×10??Pa | |||
| 7.5×10?? Torr | ||||
| 1×10?? mbar | ||||
| Filament | lr / Y?O?, 2pcs | |||
| Ionizing voltage | 25 ~ 70 eV(defalut:70eV) | |||
| Emission current | 0.1mA/0.5mA/1.0mA(default:0.5mA) | |||
| DEGAS | Electron bombard type 330V, 5mA | |||
| Total pressure function | Capable / 10?? ~ 10??Pa | |||
| “One Click” function | Capable / He/H?O/N?/O?/Any gas | |||
| “One Click” leak test function | Capable | |||
| Power input | DC24V±10% 50W | |||
| Weight(sensor unit / sensor) | 2.4kg/0.81kg | |||
| Maximum sensor operating temperature | 250℃(482?) | |||
Maximum bakeout temperature (elsectronisc removed) | 300℃(572?) | |||
| Operating temperature range | 10 to 40℃(50 to 104?) | |||
| Operating humigity range | 15 ~ 80%(not condensing) | |||
| IP rating | IP30(sensor unit) | |||
| Power connector | MSTBV2.5/3-STF-5.08 | |||
| Communication interface | Ethernet compatible | |||
| External input / output connector | D-sub15-pin (M2.6 screw)(eith option) | |||
| Communication connector | RJ45 | |||
| External input / output signal | Analog input (0 to 10V)×2,External interlock input (pressure protection)×1,Error output ×1(FIL,SEM,RF,fault),Partial pressure setpoint output ×2(fault,alarm),Total pressure setpoint output ×1 | |||
| Software | Qulee QCS Ver.4.0 later (Windows 7/8/10) | |||
| Standard accessories | Power connector,Communication cable (3m long),Software (install CD),Instruction manual (CD) | |||
Option accessories (cf. Qulee optional catalogue) | Communication cable (10,15,20,30,50m long), AC power adapter, USB-LAN adapter, Switing hub(8ports or 16ports), Input / output connector, Jacket heater, Carry case | |||
| Applicable standard | CE | |||
※ AC/DC 전원 공급 장치를 별도로 준비하거나 AC/DC 변환 어댑터(옵션)를 구매하여 사용하십시오.
본 공정 모니터링 시스템은 Etch, CVD 및 다양한 반응성 가스 공정에 대응할 수 있도록 개발되었습니다. ULVAC의 독자적인 이온 소스 및 진공 펌프 시스템을 적용하여 장기간 안정적인 측정 결과를 제공합니다.
특징
- 장기간 안정적인 측정 결과
- 안정적인 측정 성능을 장기간 유지할 수 있습니다.
- Ethernet 통신 지원
- Ethernet 인터페이스를 통한 통신 및 제어가 가능합니다.
- 자기장 이용 밀폐형 이온 소스
- 소프트 이온화 방식을 적용하여 가스의 분해를 줄이고 높은 감도를 실현합니다.
- 이온화 챔버 내에서 발생하는 열적 반응에 의한 가스 분해 및 흡착을 최소화합니다.
- 신속한 분석 응답
- 공정 챔버와 이온 소스 사이의 거리를 최소화하여 빠른 분석 응답이 가능합니다.
- 넓은 측정 압력 범위
- 10⁻⁶ ~ 13kPa의 압력 범위에 대응합니다.
- 측정 압력에 따라 적절한 오리피스를 선택할 수 있습니다.
- 간편한 조작
- PC 없이 사용할 수 있으며, “One Click” 기능을 통해 간편하게 조작할 수 있습니다.
- 고온 베이크 기능
- 최대 **120℃ (248℉)**까지 베이크가 가능합니다.
- 전자 충격 방식 디개싱
- Electron Impact 방식의 Degas 기능을 제공합니다.
- 이온 소스 및 2차 전자 증배기 보호 기능
- 이온 소스와 2차 전자 증배기를 보호하고 안정적으로 유지보수할 수 있습니다.
- 분석 튜브 추적 관리
- 분석 튜브의 이력 추적 기능을 제공합니다.
- 특허 출원 중
- 다양한 누설 검사 기능
- 헬륨 누설 검사
- 공기 누설 검사
- 통합 누설 검사
- 전체 압력 측정
- 외부 이온화 게이지 GI-M2를 사용하여 전체 압력을 측정할 수 있습니다.
- 분석 소프트웨어 제공
- 소프트웨어가 포함되어 있으며 Windows 7/8/10과 호환됩니다.
응용 분야
- Etch 및 CVD 공정
- 공정 중 반응성 가스 모니터링
- Etch 및 세정 공정의 엔드포인트 모니터링
- 잔류 가스 분석
- 누설 검사
사양표
| Model | RGM2-202 | RGM2-302 |
| Sensor | ||
| Mass filter type | Quadrupole | |
| Mass range | 1 to 200 amu | 1 to 300 amu |
| Resolution | M/△M=1M (10%P.H.) | |
| Detector type | SEM/Faraday cup | |
| Sensitivity | 1×10-3 A/Pa | |
| 1.33×10?? Torr | ||
| 0.1A/mbar | ||
minimum detectable partial pressure (inside analyzer tube) | 1×10-10 Pa | |
| 7.5×10-13 Torr | ||
| 1×10-12 mbar | ||
| Ion source | Closed ion source utilizing a magnetic field | |
| Filament | Ir/Y2O? coated V type, 1pc | |
| Ionization voltage | 20 to 70 eV | |
| Emission current | 10μA | |
| DC amplification range | 1×10-5 to 1×10-12 A | |
| Maximum bakeout operating temperature | 120℃ (248?) | |
| Differential pumping system | ||
| Gas inlet value | Conductance value with 3 different gas inlet modes (VPC-070) | |
| Max. sampling pressure | 13kPa | |
| 97.5Torr | ||
| 130mbar | ||
| Differential pumping system | With intermadiate port and gas purge port | |
| Turbo molecular pump | 67L/s：N? | |
| Fore pump | DIS090 | |
| Pirani vacuum gauge | SW1-1 | |
| Ionization vacuum gauge | GI-M2 | |
| Weight | Pumping system：57kg / Controller：38kg | |
| Utility | ||
| Power supply | AC100V 15A | |
| Compressed air | Dry N2：0.4 to 0.7MPa (Φ6 one-touch joint) | |
| Dry N2：3×10?? to 5.25×10?? Torr (Φ6 one-touch joint) | ||
| Dry N2：4 to 7 mbar (Φ6 one-touch joint) | ||
| Control unit | ||
| “One Click” function | Capable / He/H2O/N2/O2/Any gas | |
| External I/O and other | Analog input×2 (0 to 10V) | |
| Set-point output×2 (fault,alarm) | ||
| External interlock | ||
| Others | ||
| Baking heater | Tape heater | |
| Stand | Standard | |
| Sensor unit (Control box cable) | 5m | |
| Interface | Ethernet | |
| Software | Qulee QCS Ver.4.0 later（Windows 7/8/10） | |
| Option | PC | |
Qulee의 파생 모델로, 고객의 다양한 요구를 충족하기 위한 새로운 기능을 추가했습니다. 차동 배기 유닛을 추가하여 공정 관리 및 잔류 가스 분석을 위한 측정 및 분석 기능을 제공합니다.
특징
- 뛰어난 가격 경쟁력
- 옵션으로 제공되는 차동 배기 유닛을 통해 가스 분석 기능을 제공합니다.
- 컴팩트한 설계
- 표준 데스크톱형 진공 장치인 YTP 시리즈를 적용했습니다.
- 내장 디스플레이 설계
- PC 없이도 측정 데이터를 직관적으로 확인할 수 있습니다.
- 간편한 조작
- 복잡한 절차 없이 “One Click” 기능으로 간편하게 조작할 수 있습니다.
- 대기압 영역의 가스 분석
- 최대 측정 압력을 3000Pa, 500Pa, 100Pa, 10Pa 및 1Pa 중에서 선택할 수 있습니다.
- 22.5Torr, 3.75Torr, 0.75Torr, 7.5 × 10⁻²Torr 및 7.5 × 10⁻³Torr
- 30mbar, 5mbar, 1mbar, 0.1mbar 및 1.0 × 10⁻²mbar
- 응용 분야에 따른 모델 선택
- 용도에 따라 적합한 모델을 선택할 수 있습니다.
- BGM2-101 / 102: 질량수 1 ~ 100
- BGM2-201 / 202: 질량수 1 ~ 200
- HGM2-302: 질량수 1 ~ 300
- 저소음 설계
- 최대 측정 압력에서 43dB(A) 이하의 저소음 운전을 실현합니다.
- 압력 표시 기능
- 진공 압력을 쉽게 확인할 수 있습니다.
- 2개의 진공 게이지를 쉽게 통합할 수 있도록 설계되었습니다.
- 누설 검사 기능
- 헬륨 누설 검사
- 공기 누설 검사
- 통합 누설 검사
- Qulee QCS Ver.4 지원
- Ethernet 통신을 지원합니다.
- Windows 7/8/10과 호환되는 소프트웨어가 포함됩니다.
응용 분야
- 다양한 연구개발(R&D)용 가스 분석
- 공정 중 PVD 시스템의 가스 모니터링
- PVD 시스템의 잔류 가스 분석
- 고진공 펌프 장비 등의 잔류 가스 분석
사양표
| Qulee main body | Select from Qulee BGM2-101/102/201/202, HGM2-302 | |
| Max sampling pressure | Select from atmospheric pressure 3000Pa/500Pa/100Pa/10Pa/1Pa | |
| Select from atmospheric pressure 22.5Torr/3.75Torr/0.75Torr/7.5×10??Torr/7.5×10??Torr | ||
| Select from atmospheric pressure 30mbar/5mbar/1mbar/0.1mbar/1.0×10??mbar | ||
| Gas induction (500 to 1Pa type/3.75 to 7.5×10??Torr type/5 to 1.0×10??mbar type) | Manual bellows valve・Flange ICF070 | |
| Atmospheric pressure type | Please contact us for the detailed specification on separately. | |
Pump unit Desktop YTP (YTP70A-D) | TMP | Pumping speed 70L/s(N?) |
| Dry pump | Pumping speed 20L/min | |
| Ultimate pressure | Below 10??Pa (7.5 × 10?? Torr, 1.0 × 10?? mbar) (value after TMP bale out) | |
| Input voltage | Single phase AC100 ~ 240V, 300W | |
| Software | Qulee QCS Ver.4.0 (Windows 7/8/10) | |
| Optional accessories | Ioniation gauge package (SH-1, Sensor head cable 2m,Cross tube,Bolts,Gaskets),Carry cart,USB-LAN adapter,Switching hub(8 ports or 16 ports) | |
