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残留ガス分析計（RGA）

「Qulee」は、ULVACが提供する最新型の残留ガス分析計（RGA）です。高圧領域（1Pa）でも高分解能かつ高精度な測定を実現し、簡単な操作性により、手軽に残留ガス分析を始めることができます。
BỘ PHÂN TÍCH KHÍ (RGA)
残留ガス分析計（RGA）

特長

  • 各種スパッタリング装置のプロセスモニタリングに最適
  • 1Pa（7.5×10⁻³ Torr / 1×10⁻² mbar）以下の圧力領域では、差動排気システムが不要
  • 内蔵ディスプレイ搭載：PC不要
  • 簡単操作：「ワンクリック」機能搭載
  • 最高120℃（248℉）までの高温ベーキング対応
    ※センサー取り外し時：最高250℃（482℉）まで対応
  • 電子衝撃脱ガス機能搭載
  • 二次電子増倍管および二次イオン源の保護・メンテナンスサポート機能搭載
  • 分析管のトレーサビリティ管理機能（特許出願中）
  • 各種リークテスト機能搭載
    （ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、総合リークテスト）
  • 全圧測定機能搭載（イオンゲージ）
  • Qulee QCS標準搭載：Windows 8/10対応ソフトウェア付属
  • QIP（Quick Installation Package）標準搭載：自動測定パッケージ対応
    ※詳細はオプションカタログをご参照ください
  • CE規格適合

用途

  • PV、FPDおよび半導体製造装置のプロセスモニタリング
  • PVD装置内の残留ガス分析
  • PVD装置における不純物（H₂Oなど）の管理
  • リーク検査装置（Auto Leak Test Machine）でのリークチェック用途

仕様

ModelCGM2-051CGM2-052
Mass filter typeQuadrupole
Mass range1 to 50 amu
ResolutionM/ΔM=1M (10% P.H.)
Detector typeFaraday cup (FC)EM Tube (SEM) / Faraday cup (FC)
Sensitivity10?? A/PaSEM:10?? A/Pa
1.33×10?? A/TorrSEM:1.33×10?? A/Torr
10?? A/mbarSEM:10?? A/mbar
Minimum detectable partial pressure1×10?? PaSEM:1×10-10 Pa
7.5×10-10 TorrSEM:7.5×10-13 Torr
1×10?? mbarSEM:1×10-12 mbar
Maximum operating pressureFC:2 Pa

FC:2, SEM:1×10?? Pa

FC:1.5×10?? TorrFC:1.5×10?? SEM:7.5×10?? Torr
FC:2×10?? mbarFC:2×10?? SEM:1×10?? mbar
Linearity1Pa
7.5×10?? Torr
1×10?? mbar
Filamentlr/Y?O?
Ionzing voltage40eV
Emission current0.1mA/0.4mA
DegasElectron bombard type 300V,5mA
Total pressure functionCapable
One Click functionCapable/He/H?O/N?/O?/Any gas
One Click leak test functionCapable
Power inputDC24V ±10% 50W
Weight(Sensor unit/sensor)2.1kg/0.44kg2.2kg/0.44kg
Maximum sensor operating temperature120℃(248?)

Maximum bakeout temperature

(electronics removed)

250℃(482?)
Operating temperature range10 to 40℃ (50 to 104?)
Operating humidity range15 to 80% (not condensing)
IP ratingIP30 (sensor unit)
Power connectorMSTB2.5/3-STF-5.08
Communication interfaceRS232C/RS485 (with option)
External input/output connectorD-sub15-pin (M2.6 screw)
Communication connectorRJ-45
External input/output signalAnalog input(0 to 10V)×2,External interlock input(pressure protection)×1,Partial pressure setpoint output ×2(fault,alarm),Total pressure setpoint output ×1
SoftwareQulee QCS Ver. 4.0 later (Windows 8/10)
Standard accessoriesPower connector,Communication cable(3m long),Software(install CD),Instruction manual(clean paper)

Optional accessories

(Cf. Qulee optional catalogue)

QIP(Auto-measuring package spec.),Communication cable(5m,10m,15m long),AC Power adapter,USB-LAN adapter,Swinting hub(8 ports or 16ports),Input / output connecter,Jacket heater,Carry case
Applicable standardCE

※ PCにRS232Cポートが搭載されていない場合は、オプションのMicro USB／RS232C変換アダプタをご購入ください。

※ AC/DC電源をご用意いただくか、オプションのAC/DCアダプタをご購入ください。

BỘ PHÂN TÍCH KHÍ (RGA)

 

特長

  • 優れたコストパフォーマンス： RGAアプリケーションに最適
  • 通信方式： Ethernet対応
  • 内蔵ディスプレイ搭載： PC不要
  • 簡単操作：「ワンクリック」機能搭載
  • 高温ベーキング対応：
    最高120℃（248℉）
    ※センサー取り外し時：最高250℃（482℉）まで対応
  • E-gas（電子衝撃脱ガス）機能搭載
  • 保護・メンテナンス機能搭載
    • 二次電子増倍管および二次イオン源の保護・メンテナンスサポート機能
  • 各種リークテスト対応
    • ヘリウムリークテスト
    • エアリークテスト
    • リークチェック機能
  • 全圧測定機能搭載
  • Qulee QCS標準搭載
    • Windows 7 / 8 / 10対応
  • 適合規格：
    • CE規格適合

用途

  • 有機EL（OLED）製造装置における残留ガス分析
  • PV、FPDおよび半導体製造装置の残留ガスモニタリング
  • PVD装置および真空成膜装置内の残留ガス分析
  • 高真空ポンプ装置などの残留ガス分析
  • 凍結乾燥装置（フリーズドライ装置）の残留ガス分析
  • 研究開発用途における各種ガス分析

仕様

  • 分解能：
    M/ΔM＝1M（10％P.H.）
ModelBGM2-101BGM2-201BGM2-102BGM2-202
Mass filter typeQuadrupole
Mass range1～100 amu1～200 amu1～100 amu1～200 amu
Detector typeFaraday cupEM tube
Faraday cup
Sensitivity10-7A/Pa4A/Pa
Minimum detectable partial pressure10-8Pa10-12Pa
Maximum operating pressure1×10-2Pa
Total pressure functionCapable/10-2 ～ 10-5Pa
One Click functionCapable /He/H2O/N2/O2/Any gas
One Click leak test functionCapable
Power inputDC24V±10％　50W
Maximum sensor operating temperature120℃ (248?)
Maximum bakeout temperature (electronics removed)250℃ (482?)
Operating temperature range10 to 40℃ (50 to 104?)
SoftwareQulee QCS Ver.4.0 later (Windows 7/8/10)
Applicable standardCE

BỘ PHÂN TÍCH KHÍ (RGA)

特長

  • R&D用途に最適
  • 最高感度：2.5×10⁻⁶ A/Pa
    （3.3×10⁻⁴ A/Torr、2.5×10⁻⁴ A/mbar）
  • Ethernet通信対応インターフェース
  • 内蔵ディスプレイ搭載：PC不要
  • 簡単操作：「ワンクリック」機能搭載
  • 高温ベーキング対応：
    • 最高250℃（482℉）
    • ※センサー取り外し時：最高300℃（572℉）
  • デガス機能：
    • 電子衝撃脱ガス機能搭載
  • メンテナンス性：
    • フィラメント、イオン源、二次電子増倍管を容易に交換可能
  • 保護・メンテナンス機能：
    • イオン源および二次電子増倍管の保護機能搭載
    • 分析管のトレーサビリティ管理機能搭載
      （日本特許第5016031号）
  • 各種リークテスト対応
    • ヘリウムリークテスト
    • エアリークテスト
    • リークチェック
  • 全圧測定機能搭載
    • イオンゲージによる全圧測定が可能
  • Qulee QCS標準搭載
    • Windows 7 / 8 / 10対応ソフトウェア付属
  • 適合規格：
    • CE規格適合

用途

  • 熱脱離ガス分析などの研究開発用途
  • 超高真空ポンプシステムなどの残留ガス分析
  • ガス中の不純物トレーサビリティ分析
  • 光電分野における研究開発
  • 有機化合物分析
  • 環境測定

仕様

ModelHGM2-202HGM2-302
Mass filter typeQuadrupole
Mass range1 ~ 200 amu1 ~ 300 amu
ResolutionM/ ΔM=1M(10% P.H.)
Detector typeFaraday cupSEMFaraday cupSEM
Sensitivity2.5×10?? A/Pa4 A/Pa2.0×10?? A/Pa4 A/Pa
3.3×10?? A/Torr533 A/Torr3.3×10?? A/Torr533 A/Torr
2.5×10?? A/mbar400 A/mbar2.5×10?? A/mbar400 A/mbar

Minimum datectable partial pressure

Approx. 10?? PaApprox. 10-13PaApprox. 10?? PaApprox. 10-13Pa
Approx. 7.5×10-12 TorrApprox. 7.5×10-16 TorrApprox. 7.5×10-12 TorrApprox. 7.5×10-16 Torr
Approx. 1×10-11 mbarApprox. 1×10-12 mbarApprox. 1×10-11 mbarApprox. 1×10-12 mbar
Maximum operating pressure1×10??Pa
7.5×10?? Torr
1×10?? mbar
Filamentlr / Y?O?, 2pcs
Ionizing voltage25 ~ 70 eV(defalut:70eV)
Emission current0.1mA/0.5mA/1.0mA(default:0.5mA)
DEGASElectron bombard type 330V, 5mA
Total pressure functionCapable / 10?? ~ 10??Pa
“One Click” functionCapable / He/H?O/N?/O?/Any gas
“One Click” leak test functionCapable
Power inputDC24V±10% 50W
Weight(sensor unit / sensor)2.4kg/0.81kg
Maximum sensor operating temperature250℃(482?)

Maximum bakeout temperature

(elsectronisc removed)

300℃(572?)
Operating temperature range10 to 40℃(50 to 104?)
Operating humigity range15 ~ 80%(not condensing)
IP ratingIP30(sensor unit)
Power connectorMSTBV2.5/3-STF-5.08
Communication interfaceEthernet compatible
External input / output connectorD-sub15-pin (M2.6 screw)(eith option)
Communication connectorRJ45
External input / output signalAnalog input (0 to 10V)×2,External interlock input (pressure protection)×1,Error output ×1(FIL,SEM,RF,fault),Partial pressure setpoint output ×2(fault,alarm),Total pressure setpoint output ×1
SoftwareQulee QCS Ver.4.0 later (Windows 7/8/10)
Standard accessoriesPower connector,Communication cable (3m long),Software (install CD),Instruction manual (CD)

Option accessories

(cf. Qulee optional catalogue)

Communication cable (10,15,20,30,50m long), AC power adapter, USB-LAN adapter, Switing hub(8ports or 16ports), Input / output connector, Jacket heater, Carry case
Applicable standardCE

※ Vui lòng chuẩn bị nguồn điện AC / DC hoặc mua bộ chuyển đổi AC / DC tùy chọn.

BỘ PHÂN TÍCH KHÍ (RGA)

 

特長

  • 長期間にわたる安定した測定性能
  • Ethernet通信対応インターフェース
  • 磁場利用型クローズドイオン源搭載
    • ソフトイオン化によりガス分解を低減し、高感度測定を実現
    • イオン化室内での熱反応による分解・吸着を低減
  • 処理チャンバーとイオン源間の距離を短縮
    • 高速な分析フィードバックが可能
  • 幅広い圧力範囲に対応
    • 10⁻⁶～13kPaの圧力領域で測定可能
    • （アパーチャ選択式）
  • PC不要
  • 簡単操作：「ワンクリック」機能搭載
  • 高温ベーキング対応
    • 最高120℃（248℉）
  • デガス機能搭載
    • 電子衝撃脱ガス機能
  • 保護・メンテナンス機能搭載
    • イオン源および二次電子増倍管の保護・メンテナンス機能
  • 分析管のトレーサビリティ管理機能
    • （特許出願中）
  • 各種リークテスト対応
    • ヘリウムリークテスト
    • エアリークテスト
    • リークチェック
  • 全圧測定機能搭載
    • 外部イオンゲージ GI-M2による全圧測定が可能
  • ソフトウェア標準付属
    • Windows 7 / 8 / 10対応

用途

  • エッチングおよびCVDプロセス
  • プロセス中の反応性ガスモニタリング
  • エッチング・クリーニング工程のエンドポイントモニタリング
  • 残留ガス分析
  • リーク検査

仕様

ModelRGM2-202RGM2-302
Sensor
Mass filter typeQuadrupole
Mass range1 to 200 amu1 to 300 amu
ResolutionM/△M=1M (10%P.H.)
Detector typeSEM/Faraday cup
Sensitivity1×10-3 A/Pa
1.33×10?? Torr
0.1A/mbar

minimum detectable partial pressure

(inside analyzer tube)

1×10-10 Pa
7.5×10-13 Torr
1×10-12 mbar
Ion sourceClosed ion source utilizing a magnetic field
FilamentIr/Y2O? coated V type, 1pc
Ionization voltage20 to 70 eV
Emission current10μA
DC amplification range

1×10-5 to 1×10-12 A

Maximum bakeout operating temperature120℃ (248?)
Differential pumping system
Gas inlet valueConductance value with 3 different gas inlet modes (VPC-070)
Max. sampling pressure13kPa
97.5Torr
130mbar
Differential pumping systemWith intermadiate port and gas purge port
Turbo molecular pump67L/s：N?
Fore pumpDIS090
Pirani vacuum gaugeSW1-1
Ionization vacuum gaugeGI-M2
WeightPumping system：57kg / Controller：38kg
Utility
Power supplyAC100V 15A
Compressed airDry N2：0.4 to 0.7MPa (Φ6 one-touch joint)
 Dry N2：3×10?? to 5.25×10?? Torr (Φ6 one-touch joint)
 Dry N2：4 to 7 mbar (Φ6 one-touch joint)
Control unit
“One Click” functionCapable / He/H2O/N2/O2/Any gas
External I/O and otherAnalog input×2 (0 to 10V)
Set-point output×2 (fault,alarm)
External interlock
Others
Baking heaterTape heater
StandStandard
Sensor unit (Control box cable)5m
InterfaceEthernet
SoftwareQulee QCS Ver.4.0 later（Windows 7/8/10）
OptionPC

BỘ PHÂN TÍCH KHÍ (RGA)

 

「Qulee」の派生モデルとして、お客様のさまざまなニーズに対応する新機能を追加したモデルです。
差動排気ユニットを搭載することで、プロセス管理および残留ガス分析に必要な高圧領域での測定・分析を実現します。

特長

優れたコストパフォーマンス

  • オプションの差動排気ユニットを追加することで、高圧領域でのガス分析が可能

コンパクト設計

  • 卓上型標準真空ユニット「YTP」を採用したコンパクト設計

ディスプレイ一体型設計

  • PCを使用せず、直感的なデータ表示が可能

簡単操作

  • 複雑な手順を必要としない、ワンクリック操作機能搭載

大気圧近傍でのガス分析対応

  • 最大測定圧力を用途に応じて選択可能
    • 3000Pa
    • 500Pa
    • 100Pa
    • 10Pa
    • 1Pa
      （22.5Torr、3.75Torr、0.75Torr、7.5×10⁻²Torr、7.5×10⁻³Torr）
      （30mbar、5mbar、1mbar、0.1mbar、1.0×10⁻²mbar）

用途に応じたモデル選択

  • 共通番号範囲：
    • 1～100（BGM2-101 / 102）
    • 1～200（BGM2-201 / 202）
    • 1～300（HGM2-302）

低騒音設計

  • 最大圧力時：43dB(A)以下

圧力表示機能

  • 2台の真空計を容易に統合できる設計

リークテスト機能搭載

  • ヘリウムリークテスト
  • エアリークテスト
  • 総合リークチェック

Qulee QCS Ver.4搭載

  • Ethernet通信対応
  • Windows 7 / 8 / 10対応ソフトウェア付属

用途

  • 研究開発用途における各種ガス分析
  • PVD装置のプロセス中ガスモニタリング
  • PVD装置内の残留ガス分析
  • 高真空ポンプ装置などの残留ガス分析

仕様

Qulee main bodySelect from Qulee BGM2-101/102/201/202, HGM2-302
Max sampling pressureSelect from atmospheric pressure 3000Pa/500Pa/100Pa/10Pa/1Pa
Select from atmospheric pressure 22.5Torr/3.75Torr/0.75Torr/7.5×10??Torr/7.5×10??Torr
Select from atmospheric pressure 30mbar/5mbar/1mbar/0.1mbar/1.0×10??mbar
Gas induction (500 to 1Pa type/3.75 to 7.5×10??Torr type/5 to 1.0×10??mbar type)Manual bellows valve・Flange ICF070
Atmospheric pressure typePlease contact us for the detailed specification on separately.

Pump unit Desktop YTP

(YTP70A-D)

TMPPumping speed 70L/s(N?)
Dry pumpPumping speed 20L/min
Ultimate pressureBelow 10??Pa (7.5 × 10?? Torr, 1.0 × 10?? mbar) (value after TMP bale out)
Input voltageSingle phase AC100 ~ 240V, 300W
SoftwareQulee QCS Ver.4.0 (Windows 7/8/10)
Optional accessories

Ioniation gauge package (SH-1, Sensor head cable 2m,Cross tube,Bolts,Gaskets),Carry cart,USB-LAN adapter,Switching hub(8 ports or 16 ports)

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