ULVAC Vietnam Representative Office
Pirani 진공 게이지 SP1 시리즈
SP1 시리즈 Pirani 진공 게이지는 WP 시리즈 센서 헤드와 회로가 일체형으로 구성된 Pirani 진공 게이지로, 3,000~0.4 Pa(22~3 × 10⁻³ Torr / 3~4 × 10⁻³ mbar)의 압력 범위를 측정할 수 있습니다.
특징
- 센서 헤드 사양
- 압력 표시 장치가 필요하지 않은 경우:
- 진공 게이지 관련 비용을 절감할 수 있습니다.
- 제어 패널을 소형화하여 설치 공간을 절약할 수 있습니다.
- 압력 표시 장치가 필요하지 않은 경우:
- 센서 헤드 교체가 매우 간편합니다.
- 내식성이 우수한 백금 소재의 필라멘트를 사용합니다.
- 기존 센서 헤드를 별도의 개조 없이 사용할 수 있습니다.
(SP1: WP-01, WP-02, WP-03, WP-16) - 2개의 설정값(Set Point)을 출력할 수 있습니다.
- SP1: 압력값을 0~5 V 신호로 출력합니다. (비선형 출력)
- 24 VDC 전원 입력으로 작동할 수 있습니다.
적용 분야
- 반도체, 광학 및 전자 부품 제조 장비와 같은 고진공 영역의 진공 장비 공정 제어
- 진공로(Vacuum Furnace) 등의 산업용 장비에서 고진공 영역의 공정 제어
- 인라인 스퍼터링 장비 및 단일 웨이퍼 처리 장비와 같이 다수의 처리 챔버를 갖춘 진공 시스템의 고진공 영역 공정 제어
사양
| Type | Sensor unit |
| Model | SP1 |
| Compatible sensor head | WP-01, WP-02, WP-03, WP-16 |
Accuracy | ±15 %（51 Pa ～760 Pa） |
| ±30 %（10 Pa ～1000 Pa） | |
| ±50 %（0.4 Pa ～3000 Pa） | |
| Operating temperature range | 10 ~ 40℃ |
| Measurement value output | Nonlinear output: 0 to 5VDC (Max. 10V) |
| Setpoint 1/2 Pressure setting adjustment monitor | Nonlinear output: 0 to 5VDC (Max. 10V) |
| Control output signal | Open collector output, Negative logic |
| ERROR signal | |
| Setpoint 1/2 | |
| LED display | Power, error, set point 1, set point 2 |
| Power supply voltage | DC24V±2V, 90mA（Max.） |
| Input/Output connector | D-sub-15P（M2.6 screw） |
| Weight | 190g /0.41lb (Excluding sensor head) |
Standard accessories | Input/Output connector 1pc |
| Quick manual 1pc |
IO 및 GND는 전원 GND와 동일하게 절연되어 있지 않습니다.
