ULVAC Vietnam Representative Office
皮拉尼真空计 SP1 型号
SP1 传感单元是一体化皮拉尼真空计，由 WP 系列传感头和电路组成，测量范围为 3000～0.4Pa（22～3×10⁻³ Torr / 3～4×10⁻³ mbar）。
特点
- 传感器规格
如果不需要压力显示装置：
・可降低与真空计相关的成本
・通过最小化控制面板可节省空间 - 传感头更换非常简化
- 耐腐蚀铂金用作灯丝材料
- 现有传感头可直接使用，无需改造。（SP1: WP-01, 02, 03, 16）
- 可输出 2 个设定点
- SP1: 压力读数为 0～5V 输出（非线性）
- 可在 24VDC 电源输入下运行
应用
- 用于低真空范围的工艺控制，例如半导体、光学和电子零部件制造。
- 用于低真空范围的工业设备工艺控制，例如真空炉等。
- 用于低压范围的多腔体真空系统工艺控制，例如在线溅射和单晶圆处理设备。
技术参数
| 类型 | 传感器单元 |
| 型号 | SP1 |
| 兼容传感头 | WP-01, WP-02, WP-03, WP-16 |
精度 | ±15 %（51 Pa ～760 Pa） |
| ±30 %（10 Pa ～1000 Pa） | |
| ±50 %（0.4 Pa ～3000 Pa） | |
| 使用温度范围 | 10 ~ 40℃ |
| 测量值输出 | 非线性输出: 0 ~ 5VDC（最大 10V） |
| 设定点1/2 压力设定调节监视器 | 非线性输出: 0 ~ 5VDC (Max. 10V) |
| 控制输出信号 | 开集电极输出, 负逻辑 |
| 错误信号 | |
| 设定点 1/2 | |
| LED 显示 | 电源, 错误, 设定点 1, 设定点 2 |
| 电源电压 | DC24V±2V, 90mA（Max.） |
| 输入/输出连接器 | D-sub-15P（M2.6 screw） |
| 重量 | 190g /0.41lb （不含传感头） |
标准附件 | 输入/输出连接器 1pc |
| 快速手册 1pc |
IO 和模拟地未与电源地隔离。
