ULVAC Vietnam Representative Office
애싱 시스템
NA 시리즈 애싱 시스템
NA 시리즈 애싱 시스템은 다양한 웨이퍼 크기에 대응할 수 있으며, 차세대 웨이퍼용 핵심 공정부터 웨이퍼 레벨 패키징(WLP) 공정까지 폭넓은 공정에 적용할 수 있습니다.
Gemini-200,300
Gemini는 하나의 공통 이송 코어에 다양한 공정 모듈을 구성하고, 가능한 한 동일한 공용 부품을 최대한 활용하여 교체 부품을 최소화할 수 있습니다. 또한 각 공정 모듈 간 동일한 제어 패널을 사용함으로써 조작 편의성을 향상시킵니다. 이를 통해 첨단 전자 소자 생산 공정의 효율성을 더욱 향상시킬 수 있습니다.
