ULVAC Vietnam Representative Office
중간급 이온 주입 시스템 SOPHI-200/260
SOPHI-200/260은 기존 중간급 양산형 이온 주입 장비를 기본적으로 계승하면서, 장비 공급업체로서 축적된 풍부한 경험을 바탕으로 불필요한 사양을 최적화했습니다. 이를 통해 비용을 효과적으로 절감하여 합리적인 가격을 실현했으며, 병렬 스캐닝 기능을 지원합니다.
특징
- 5~8인치 웨이퍼 대응
- 소형·경량 장비
- 우수한 병렬 빔 스캐닝 성능
- 불순물 및 금속 오염에 대한 우수한 내성
- 초박형 웨이퍼 처리 대응
응용 분야
- 반도체 제조
- 전력 소자 등 초박형 웨이퍼 공정
- R&D (연구개발)
