ULVAC Vietnam Representative Office
SME-200E 클러스터형 스퍼터링 시스템
SME-200E는 연구개발(R&D) 및 생산을 목적으로 하는 클러스터형 스퍼터링 시스템입니다.
특징
- 최대 Φ200 mm의 기판 크기에 대응
- 최대 3개의 프로세스 챔버 구성 가능
- 다양한 응용 분야에 대응할 수 있는 전용 프로세스 모듈 구성 가능
- 기판 가열, 동시 증착 및 순차 증착 기능 지원
적용 분야
- 연구개발(R&D)
- 생산
