ULVAC

Máy kiểm tra rò rỉ

HỆ THỐNG KIỂM TRA RÒ RỈ TỰ ĐỘNG DÒNG QYH-300

Bao gồm: Mô-đun buồng chân không, mô-đun đánh giá, mô-đun sạc & thu hồi He, mô-đun khí nén, mô-đun điều khiển thiết bị & điện và máy dò rò rỉ phổ khối lượng, v.v.

Bao gồm kiểm tra phát hiện rò rỉ Helium dạng Sniffer, trạm đánh giá, trạm sạc Helium, trạm thu hồi Helium, tủ điều khiển.