ULVAC

MÁY CẤY ION MẬT ĐỘ TRUNG BÌNH SOPHI-200/260

SOPHI-200/260 về cơ bản kế thừa thiết bị cấy ion mô hình sản xuất trung bình hiện tại và loại bỏ thông số kỹ thuật dựa trên kinh nghiệm đủ của chúng tôi với tư cách là nhà cung cấp công cụ. Do đó, nhờ vào việc giảm chi phí hiệu quả, chúng tôi có thể đưa ra mức giá bán không đắt với khả năng quét song song.

ĐẶC ĐIỂM

  • Áp dụng cho bánh xốp 5 – 8 inch.
  • Công cụ nhỏ gọn và trọng lượng nhẹ.
  • Hiệu suất chùm tia song song tuyệt vời.
  • Tuyệt vời cho dị ứng và nhiễm kim loại.
  • Áp dụng cho bánh xốp siêu mỏng.

ỨNG DỤNG

  • Sản xuất chất bán dẫn.
  • Quy trình wafer siêu mỏng như thiết bị điện, v.v.
  • R & D