HỆ THỐNG PHÚN XẠ NHIỀU BUỒNG MLXTM -3000N
MLXTM-3000N đáp ứng các yêu cầu phức tạp của khách hàng nhờ tính linh hoạt của quy trình và khả năng kiểm soát vượt trội cũng như hiệu suất chi phí tuyệt vời.
ĐẶC ĐIỂM
- Kích thước Wafer: 3 đến 8 inch (75 đến 200mm)
- Kiểm soát chất lượng phim chính xác có sẵn với kiểm soát thông số chính xác trong môi trường không nhiễm bẩn
- Tính linh hoạt của nhiều quy trình khác nhau như Alminium dày, TTH Bawiermotal và staokfilm.
ỨNG DỤNG
- Kim loại hóa cho các thiết bị bán dẫn như thiết bị nguồn, v.v.
specifications
| Specification | MLXTM-3000N | |
| Configuration | Transfer system | 6sides transfer module x 1 |
| Module | Load/Unload module: 2modules (or 1module and 1degas) Process module: MAX 4 modules | |
| Wafer Size | 75mm – 200mm diameter (3 to 8 inch) | |
| Transfer robot | Vacuum transfer robot with double pick-up | |
| Control system | PC control system | |
| Application | Power Device (Front side and Back side), UBM, Mounted Device, SAW Device. Non-Standard Shaped Wafers | |
| Pumping systems | Main Pump | Load/Unload module : Dry Pump Transfer module : TMP Process module : Cryo Pump |
| Roughing Pump | Dry Pump | |
| Process Gas Line | MAX 3 lines | |
| Ultimate pressure | Transfer: 1.3 x 10E-4Pa (1.0 x 10E-6Torr) Process module: 1.0 x 10E-5Pa (7.5 x 10E-8Torr) | |
| Electricity | 50Hz/60Hz, 3Phase, AC 200V | |
| Cooling Water | 0.2 – 0.3MPa, Temperature 20 – 25ºC, 100L/min | |
| Gas | Process Gas: 0.05 – 0.1MPa (Dependent on Variety Gas) Nitrogen : 0.05 – 0.1MPa | |
| Compressed Air | 0.55 – 0.75MPa | |
| Grounding | A Class (1st Class) Ground line (10 ohm on less) | |
| Option | 3″ to 8″ (75mm to 200mm diameter) wafer available | |
| Shutter mechanism | ||
| Electrostatic chuck | ||
| RGA: Qulee | ||
| Loadlock module (optional TMP available) | ||
Follow us
Zalo
Line Add
Contact Us
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam
5/5/42 Thanh Binh Street, Hai Duong Province, Vietnam