ULVAC

ulvac logo

Máy kiểm tra rò rỉ

HỆ THỐNG KIỂM TRA RÒ RỈ TỰ ĐỘNG DÒNG QYH-300 ​

HỆ THỐNG KIỂM TRA RÒ RỈ TỰ ĐỘNG DÒNG QYH-300

Bao gồm: Mô-đun buồng chân không, mô-đun đánh giá, mô-đun sạc & thu hồi He, mô-đun khí nén, mô-đun điều khiển thiết bị & điện và máy dò rò rỉ phổ khối lượng, v.v.

HỆ THỐNG KIỂM TRA RÒ RỈ NẠP VÀ THU HỒI KHÍ HELI DÒNG QYH-200 ​

Bao gồm kiểm tra phát hiện rò rỉ Helium dạng Sniffer, trạm đánh giá, trạm sạc Helium, trạm thu hồi Helium, tủ điều khiển.