BỘ CẤP NGUỒN

Home / Sản phẩm / Cấu kiện chân không / BỘ CẤP NGUỒN

Power Generator ‘s ULVAC cung cấp nhiều loại súng điện tử và bộ nguồn hỗ trợ công nghệ xi mạ chân không.

BỘ CẤP NGUỒN DC

DÒNG DPG

DPG-10/DPG-20 là máy phát điện một chiều 10kW/20kW DC để phún xạ. Chúng được làm bằng các thành phần và mạch đáng tin cậy. Các máy phát điện có độ tin cậy cao này đã được tối ưu hóa cho tải plasma với thiết kế phản ánh kiến thức nhiều năm của chúng tôi bao gồm các ứng dụng máy phát điện.

DÒNG DCS

Vì hiệu suất cơ bản là vấn đề quan trọng, dòng DCS cung cấp hiệu suất chi phí vượt trội và được sử dụng trong các ứng dụng khác nhau.Sử dụng kết hợp bộ triệt tiêu hồ quang, A2K, có hiệu quả tốt trong phún xạ phản ứng.

DÒNG A2K

Trong các quá trình phún xạ phản kháng, bộ ngăn chặn phóng điện bất thường dòng A2K áp dụng các xung điện áp dương vào máy phát điện một chiều để trung hòa điện tích trên mục tiêu.

DÒNG MFU

MFU-20K là thiết bị chuyển đổi đầu ra DC thành đầu ra xung lưỡng cực, bằng cách thêm vào máy phát điện DC ULVAC (dòng DPG). Nó góp phần cải thiện năng suất và thông lượng với chi phí thấp.