BỘ NGUỒN DÒNG DPG
DPG là máy phát điện DC 2kW-30kW để phún xạ. Chúng được làm bằng các thành phần và mạch đáng tin cậy. Các máy phát điện có độ tin cậy cao này đã được tối ưu hóa cho tải plasma với thiết kế phản ánh kiến thức nhiều năm của chúng tôi bao gồm các ứng dụng máy phát điện.
DPG-2 / DPG-4 là máy phát điện một chiều 2 kW / 4 kW cho phún xạ. Khả năng lặp lại là tuyệt vời vì độ chính xác điều khiển cao.
ĐẶC ĐIỂM
- Độ chính xác kiểm soát cao
- Độ chính xác cao ± 1% giá trị cài đặt ngay cả trong vùng công suất thấp dưới 10 ％. </ Li
- Đảm bảo độ chính xác rộng
- Đảm bảo kiểm soát công suất phạm vi rộng từ 1 đến 100 ％.
- Trọng lượng nhẹ và thiết kế tiết kiệm không gian với khả năng lắp đặt linh hoạt tuyệt vời.
- Không cần nước làm mát
- Làm mát không khí cưỡng bức, không cần nước làm mát.
- Độ tin cậy cao. Kiến thức tích lũy của chúng tôi với tư cách là một nhà sản xuất thiết bị đã được phản ánh trong thiết kế.
ỨNG DỤNG
- Thiết bị phún xạ cho R&D
- Nguồn cung cấp BIAS của thiết bị phún xạ
BẢNG TIÊU CHUẨN
| Model | DPG-2 | DPG-4 | |
| Input specification | Rated input voltage | AC208V/220V | |
| Input voltage fluctuation range | 180 to 242VAC | ||
| Phase, frequency | Three phase, 50/60Hz | ||
| Input capacity | 3.5kVA | 6.2kVA | |
| Output specification | Maximum rated power | 2kW | 4Kw |
| Rated current | 5A | 10A | |
| Rated voltage | 800V | ||
| Output polarity | Negative polarity | ||
| Abnormal discharge control | Shutoff by inverter stop or stop by resonance | ||
| Control | Control method | Constant power control (P control) / Constant current control (I control) /Constant voltage control (V control) | |
| Control precision | ±1％ of set point (In our prescriptive resistance value.) | ||
| Control compensation range | Constant power control, 1 to 100％ of rated power value | ||
| Parallel operation | Nothing | ||
| Interface | Analog/Degital,RS-232C or RS-485 | ||
| Cooling method | Forced air-cooling | ||
| Dimension（W×D×H） | 241mm×610mm×133mm（excluding protrusions） | ||
| Weight | 15kg | ||
| Applicable standard | CE/SEMI F47/RoHS | ||
Nhiệt độ hoạt động xung quanh 5 ℃ ～ 40 ℃ (không ngưng tụ）
Môi trường hoạt động: Tránh ánh nắng trực tiếp, nhiệt, bụi, rung và không có khí ăn mòn.
DPG-10 / DPG-20 là máy phát điện một chiều 10kW / 20kW DC để phún xạ. Chúng được làm bằng các thành phần và mạch đáng tin cậy. Các máy phát điện có độ tin cậy cao này đã được tối ưu hóa cho tải plasma với thiết kế phản ánh kiến thức nhiều năm của chúng tôi bao gồm các ứng dụng máy phát điện.
ĐẶC ĐIỂM
- Trọng lượng nhẹ và thiết kế tiết kiệm không gian với khả năng lắp đặt linh hoạt tuyệt vời.
- Dải điện áp đầu ra có thể lựa chọn. Chúng tôi có dòng sản phẩm có thông số kỹ thuật 800V và thông số kỹ thuật 1000V.
- Xử lý hồ quang cao cấp. Các phương pháp điều khiển hồ quang rộng rãi quen thuộc với plasma. Không cần nước làm mát. Làm mát không khí cưỡng bức, yêu cầu nước làm mát.
- Có thể được trang bị mạch ngắt hồ quang tốc độ cao, đạt được năng lượng hồ quang thấp theo tiêu chuẩn. Cũng có thể được trang bị mạch ngắt hồ quang tốc độ cao như một tùy chọn.
- Có thể được trang bị chức năng hoạt động song song linh hoạtDPG-10, DPG-20: Với chức năng hoạt động song song tùy chọn, 10kW và 20kW có thể được kết hợp để cho phép tối đa 12 đơn vị cùng hoạt động song song. (Tối đa 240kW)
ỨNG DỤNG
- Màn hình phẳng hiển thị phún xạ
- Phún xạ bán dẫn
- Bảng điều khiển cảm ứng phún xạ
BẢNG TIÊU CHUẨN
| Model | DPG-10-AM | DPG-10H-AM | DPG-10-4AM | DPG-20-AM | DPG-20H-AM | DPG-20-4AM | |
| Input specification | Rated input voltage | 3-Phase 187 to 229VAC | 3-Phase AC342 to 440V | 3-Phase 187 to 229VAC | 3-Phase AC342 to 440V | ||
| Input capacity | 13.5kVA or less | 25kVA or less | |||||
| Output specification | Maximum rated power | 10kW | 20kW | ||||
| Rated current | 25A | 18A | 25A | 50A | 40A | 50A | |
| Rated voltage | -800V | -1000V | -800V | -800V | -1000V | -800V | |
| Ignition voltage | -1500V | ||||||
| Abnormal discharge control | Shutoff by inverter stop or high-speed arc shutoff circuit*1 when abnormal discharge is detected | ||||||
| Control | Control method | Constant power control (P control)/constant current control (I control)/constant voltage control (V control) | |||||
| Control precision | Constant power control (P Control)：±0.5% or less of the rated output or ±1％ of the set value, whichever is larger. Constant current control (I Control)：±1％ or less of the rated output or ±2％ of the set value, whichever is larger. Constant voltage control (V Control)：±1％ or less of the rated output or ±2％ of the set value, whichever is larger. | ||||||
| Control warranty scope | Constant power control, 10 to 100％ of rated power value | ||||||
| Extenal interface | analog/digital,RS-232C or 485 | ||||||
| Parallel operation | Up to 12units can be controlled by master/slave communication | ||||||
| Cooling method | Forced air-cooling | ||||||
| Dimension W×D×H | 483×630×133mm (excluding protrusions) | ||||||
| Weight | 29kg | 36kg | |||||
| Applicable standard | CE/ SEMI F47/ RoHS | ||||||
Đặc điểm kỹ thuật trở kháng cao 30 kW Bộ nguồn DC cho phún xạ.
ĐẶC ĐIỂM
- Năng lượng hòm cực thấp bằng cách sử dụng mạch ngắt hồ quang tốc độ cao tùy chọn.
- Nó góp phần tạo ra năng suất cao và cải thiện năng suất sản xuất.
- Đầu ra 1200V với khả năng chịu tải trở kháng cao.Giao tiếp EtherCAT có sẵn.
ỨNG DỤNG
- Thiết bị phún xạ cho FPD
- Thiết bị phún xạ cho chất bán dẫn
- Thiết bị phún xạ cho bảng điều khiển cảm ứng
- Thiết bị phun sơn phủ công nghiệp
BẢNG TIÊU CHUẨN
| Model | DPG-30H-44E | |
| Input specifications | Input voltage | 3 phase AC 396 to 484V |
| Input capacity | 41.5kVA or less | |
| Output specifications | Rated power | 30kW |
| Rated current | 55A | |
| Rated voltage | -1200V | |
| Ignition voltage | -1500V | |
| Abnormal discharge control | Stop the inverter or shutoff with high-speed arc shutoff circuit when abnormal discharge is detected | |
| Control | Control method | Rated power control (P Control ) Rated current control (I Control ) Rated voltage control (V Control ) |
| Control precision | P Control：Less than ±0.5％ of the rated output or ±1％ of the set value, whichever is larger. I Control：Less than ±1％ of the rated output or ±2％ of the set value, whichever is larger. V Control：Less than ±1％ of the rated output or ±2％ of the set value, whichever is larger. | |
| Control guarantee scope | 10 to 100％ of rated power value | |
| External interface | RS-232C or 485, EtherCAT | |
| Parallel operation | Maximum up to 12 units | |
| Cooling method | Forced air cooled | |
| Dimensions W×D×H | 483×650×177mm (excluding protrusions) | |
| Weight | 45kg | |
| Applicable standard | CE/ SEMI F47/ RoHS | |
Follow us
Zalo
Line Add
Contact Us
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam
5/5/42 Thanh Binh Street, Hai Duong Province, Vietnam