BỘ PHÂN TÍCH KHÍ (RGA)

Home / Sản phẩm / Cấu kiện chân không / BỘ PHÂN TÍCH KHÍ (RGA)

“Qulee” là mô hình mới nhất của ULVAC để phân tích và giám sát khí dư. ULVAC Qulee đạt được các phép đo chính xác cao với độ phân giải cao ngay cả ở áp suất cao (1Pa), đặt hàng Qulee đơn giản (dễ sử dụng) ngày nay.

DÒNG CGM2
DÒNG BGM2
DÒNG HGM2
DÒNG RGM2
DÒNG YTP-H

ĐẶC ĐIỂM

Lý tưởng để giám sát quá trình của các hệ thống phún xạ khác nhau
Không yêu cầu hệ thống bơm vi sai (ở 1Pa (7,5 × 10-3 Torr / 1 × 10-2 mbar) thấp hơn)
Màn hình tích hợp: Không cần PC
Hoạt động đơn giản: Chức năng "One Click"
Nướng nhiệt độ cao tối đa 120 ℃ (248?) (250 ℃ (482?) Khi loại bỏ cảm biến)
Electron bắn phá mỡ
Chức năng trợ giúp bảo trì bảo vệ hệ số điện tử thứ cấp và nguồn ion thứ cấp
Truy xuất nguồn gốc của ống phân tích (đang chờ cấp bằng sáng chế)
Có nhiều thử nghiệm rò rỉ khác nhau (kiểm tra rò rỉ khí Heli, kiểm tra rò rỉ không khí, kiểm tra tích hợp)Có khả năng đo tổng áp suất (đồng hồ đo ion hóa)
Qulee QCS được bao gồm:Phần mềm này được bao gồm và tương thích với (Windows 8/10)
QIP (Hệ thống gói cài đặt nhanh) được bao gồm:Gói đo tự động (tham khảo danh mục tùy chọn để biết thêm chi tiết)
Phù hợp với CE

ỨNG DỤNG

Giám sát quá trình cho PV, FPD và hệ thống bán dẫn
Phân tích khí dư trong hệ thống PVD
Kiểm soát tạp chất (H2O, v.v.) trong hệ thống PVD
Để kiểm tra rò rỉ

BẢNG TIÊU CHUẨN

Model	CGM2-051	CGM2-052
Mass filter type	Quadrupole
Mass range	1 to 50 amu
Resolution	M/ΔM=1M (10% P.H.)
Detector type	Faraday cup (FC)	EM Tube (SEM) / Faraday cup (FC)
Sensitivity	10?? A/Pa	SEM:10?? A/Pa
	1.33×10?? A/Torr	SEM:1.33×10?? A/Torr
	10?? A/mbar	SEM:10?? A/mbar
Minimum detectable partial pressure	1×10?? Pa	SEM:1×10^-10Pa
	7.5×10^-10Torr	SEM:7.5×10^-13Torr
	1×10?? mbar	SEM:1×10^-12 mbar
Maximum operating pressure	FC:2 Pa	FC:2, SEM:1×10?? Pa
	FC:1.5×10?? Torr	FC:1.5×10?? SEM:7.5×10?? Torr
	FC:2×10?? mbar	FC:2×10?? SEM:1×10?? mbar
Linearity	1Pa
	7.5×10?? Torr
	1×10?? mbar
Filament	lr/Y?O?
Ionzing voltage	40eV
Emission current	0.1mA/0.4mA
Degas	Electron bombard type 300V,5mA
Total pressure function	Capable
One Click function	Capable/He/H?O/N?/O?/Any gas
One Click leak test function	Capable
Power input	DC24V ±10% 50W
Weight(Sensor unit/sensor)	2.1kg/0.44kg	2.2kg/0.44kg
Maximum sensor operating temperature	120℃(248?)
Maximum bakeout temperature (electronics removed)	250℃(482?)
Operating temperature range	10 to 40℃ (50 to 104?)
Operating humidity range	15 to 80% (not condensing)
IP rating	IP30 (sensor unit)
Power connector	MSTB2.5/3-STF-5.08
Communication interface	RS232C/RS485 (with option)
External input/output connector	D-sub15-pin (M2.6 screw)
Communication connector	RJ-45
External input/output signal	Analog input(0 to 10V)×2,External interlock input(pressure protection)×1,Partial pressure setpoint output ×2(fault,alarm),Total pressure setpoint output ×1
Software	Qulee QCS Ver. 4.0 later (Windows 8/10)
Standard accessories	Power connector,Communication cable(3m long),Software(install CD),Instruction manual(clean paper)
Optional accessories (Cf. Qulee optional catalogue)	QIP(Auto-measuring package spec.),Communication cable(5m,10m,15m long),AC Power adapter,USB-LAN adapter,Swinting hub(8 ports or 16ports),Input / output connecter,Jacket heater,Carry case
Applicable standard	CE

※ Khi PC không có cổng RS232C, vui lòng mua tùy chọn bộ chuyển đổi micro USB / RS232C.

※ Vui lòng chuẩn bị nguồn điện AC / DC hoặc mua bộ chuyển đổi AC / DC tùy chọn.

ĐẶC ĐIỂM

Xuất sắc về Hiệu suất Chi phí: Thích hợp cho ứng dụng RGA
Phương thức giao tiếp: Ethernet tương thích-Màn hình tích hợp, không cần PC
Hoạt động đơn giản: chức năng "One Click"
Nướng nhiệt độ cao tối đa 120 ℃ (248?) (250 ℃ (482?) khi loại bỏ cảm biến)
Chức năng EgasElectron bắn phá mỡ
Tính năng bảo vệ và bảo trì

Chức năng trợ giúp bảo trì bảo vệ hệ số điện tử thứ cấp và nguồn ion thứ cấp

Xét nghiệm rò rỉ khác nhau có sẵn

Kiểm tra rò rỉ khí Heli, kiểm tra rò rỉ không khí, rò rỉ

Đo áp suất tổng

Có khả năng đo tổng áp suất

Qulee QCS được bao gồm và tương thích với (Windows 7/8/10)
Tiêu chuẩn áp dụng

Phù hợp với CE

ỨNG DỤNG

Phân tích khí dư để phát quang điện hữu cơ
Giám sát khí dư cho PV, FPD và hệ thống sản xuất chất bán dẫn
Phân tích khí dư trong hệ thống PVD và lắng đọng chân không
Phân tích khí dư cho thiết bị bơm chân không cao, v.v.
Phân tích khí dư cho hệ thống sấy đông lạnh
Các loại phân tích khí khác nhau để nghiên cứu và phát triển

BẢNG TIÊU CHUẨN

Độ phân giải M/△M=1M(10% P.H.)

Model	BGM2-101	BGM2-201	BGM2-102	BGM2-202
Mass filter type	Quadrupole
Mass range	1～100 amu	1～200 amu	1～100 amu	1～200 amu
Detector type	Faraday cup		EM tube Faraday cup
Sensitivity	10^-7A/Pa		4A/Pa
Minimum detectable partial pressure	10^-8Pa		10^-12Pa
Maximum operating pressure	1x10^-2Pa
Total pressure function	Capable/10^-2 ～ 10^-5Pa
One Click function	Capable /He/H₂O/N₂/O₂/Any gas
One Click leak test function	Capable
Power input	DC24V±10％　50W
Maximum sensor operating temperature	120℃ (248?)
Maximum bakeout temperature (electronics removed)	250℃ (482?)
Operating temperature range	10 to 40℃ (50 to 104?)
Software	Qulee QCS Ver.4.0 later (Windows 7/8/10)
Applicable standard	CE

Dòng máy phân tích khí dư "Qulee HGM2" mới của ULVAC với sự đơn giản mang tính cách mạng trong sử dụng. Cung cấp độ nhạy cao nhất trong tất cả các mô hình ở 2,5 × 10 -6A / Pa, Qulee HGM2. Có thể đáp ứng nhu cầu của nhiều nghiên cứu và phát triển và giám sát hệ thống chân không khác. (Tương thích với Ethernet)

ĐẶC ĐIỂM

Thích hợp nhất cho các ứng dụng R&DCung cấp độ nhạy cao nhất 2,5 × 10-6A / Pa (3,3 × 10-4A / Torr, 2,5 × 10-4A / mbar）
Giao diện thông tin tương thích Ethernet-Màn hình tích hợp Không cần PC
Chức năng "Một cú nhấp chuột" hoạt động đơn giản
Nướng ra: Nướng nhiệt độ cao tối đa 250 ℃ (482?) (300 ℃ (572?) Khi tháo các cảm biến)
Degas: Chức năng Electron bắn phá degas
Bảo dưỡng: Dây tóc, nguồn ion và hệ số nhân electron thứ cấp dễ dàng thay thế
Tính năng bảo vệ và bảo trì: Thiết bị cung cấp khả năng bảo vệ và duy trì nguồn ion và hệ số nhân điện tử thứ cấp. Khả năng truy xuất nguồn gốc của ống phân tích (Bằng sáng chế Nhật Bản số 5016031)
Xét nghiệm rò rỉ khác nhau có sẵn. Kiểm tra rò rỉ khí Heli, kiểm tra rò rỉ không khí, rò rỉ
Đo áp suất tổng. Có khả năng đo tổng áp suất (đồng hồ đo ion hóa)
Qulee QCS được bao gồm: Phần mềm này được bao gồm và tương thích với (Windows 7/8/10)-Phù hợp tiêu chuẩn có thể áp dụng với CE

ỨNG DỤNG

R & D chẳng hạn như phân tích khí giải hấp nhiệt
Phân tích khí dư cho thiết bị bơm chân không siêu cao, v.v.
Truy tìm tạp chất trong khí
R & D cho lĩnh vực quang điện
Phân tích hợp chất hữu cơ
Các phép đo môi trường

BẢNG TIÊU CHUẨN

Model	HGM2-202		HGM2-302
Mass filter type	Quadrupole
Mass range	1 ~ 200 amu		1 ~ 300 amu
Resolution	M/ ΔM=1M(10% P.H.)
Detector type	Faraday cup	SEM	Faraday cup	SEM
Sensitivity	2.5×10?? A/Pa	4 A/Pa	2.0×10?? A/Pa	4 A/Pa
	3.3×10?? A/Torr	533 A/Torr	3.3×10?? A/Torr	533 A/Torr
	2.5×10?? A/mbar	400 A/mbar	2.5×10?? A/mbar	400 A/mbar
Minimum datectable partial pressure	Approx. 10?? Pa	Approx. 10^-13Pa	Approx. 10?? Pa	Approx. 10^-13Pa
	Approx. 7.5×10^-12 Torr	Approx. 7.5×10^-16 Torr	Approx. 7.5×10^-12 Torr	Approx. 7.5×10^-16 Torr
	Approx. 1×10^-11 mbar	Approx. 1×10^-12 mbar	Approx. 1×10^-11 mbar	Approx. 1×10^-12 mbar
Maximum operating pressure	1×10??Pa
	7.5×10?? Torr
	1×10?? mbar
Filament	lr / Y?O?, 2pcs
Ionizing voltage	25 ~ 70 eV(defalut:70eV)
Emission current	0.1mA/0.5mA/1.0mA(default:0.5mA)
DEGAS	Electron bombard type 330V, 5mA
Total pressure function	Capable / 10?? ~ 10??Pa
"One Click" function	Capable / He/H?O/N?/O?/Any gas
"One Click" leak test function	Capable
Power input	DC24V±10% 50W
Weight(sensor unit / sensor)	2.4kg/0.81kg
Maximum sensor operating temperature	250℃(482?)
Maximum bakeout temperature (elsectronisc removed)	300℃(572?)
Operating temperature range	10 to 40℃(50 to 104?)
Operating humigity range	15 ~ 80%(not condensing)
IP rating	IP30(sensor unit)
Power connector	MSTBV2.5/3-STF-5.08
Communication interface	Ethernet compatible
External input / output connector	D-sub15-pin (M2.6 screw)(eith option)
Communication connector	RJ45
External input / output signal	Analog input (0 to 10V)×2,External interlock input (pressure protection)×1,Error output ×1(FIL,SEM,RF,fault),Partial pressure setpoint output ×2(fault,alarm),Total pressure setpoint output ×1
Software	Qulee QCS Ver.4.0 later (Windows 7/8/10)
Standard accessories	Power connector,Communication cable (3m long),Software (install CD),Instruction manual (CD)
Option accessories (cf. Qulee optional catalogue)	Communication cable (10,15,20,30,50m long), AC power adapter, USB-LAN adapter, Switing hub(8ports or 16ports), Input / output connector, Jacket heater, Carry case
Applicable standard	CE

※ Vui lòng chuẩn bị nguồn điện AC / DC hoặc mua bộ chuyển đổi AC / DC tùy chọn.

Hệ thống giám sát quá trình này đã được phát triển cho nhiều loại ứng dụng khác nhau như etch, CVD và các quá trình khí phản ứng khác.Sử dụng nguồn ion ban đầu và hệ thống bơm của ULVAC cho phép bạn đạt được kết quả đo ổn định.

ĐẶC ĐIỂM

Kết quả đo ổn định lâu dài
Giao diện thông tin tương thích Ethernet
Nguồn ion kín sử dụng từ trường: Sự ion hóa mềm giúp phân ly khí ít hơn và độ nhạy cao hơn. Sự phân hủy và hấp phụ do phản ứng nhiệt được giảm thiểu trong buồng ion hóa.
Khoảng cách ngắn giữa buồng xử lý và nguồn ion cho phép phản hồi phân tích nhanh chóng.
Có sẵn dải áp suất từ 10-6 đến 13kPa. (Lựa chọn các lỗ)
Không cần PC Chức năng "One Click"-Max 120 ℃ (248?) Nướng nhiệt độ cao.
Electron bắn phá tẩy mỡ
Bảo vệ và duy trì nguồn ion và hệ số nhân electron thứ cấp
Truy xuất nguồn gốc của ống phân tích (đang chờ cấp bằng sáng chế)
Có nhiều thử nghiệm rò rỉ khác nhau (kiểm tra rò rỉ khí Heli, kiểm tra rò rỉ không khí, rò rỉ)
Có khả năng đo tổng áp suất (Đồng hồ đo ion hóa bên ngoài GI-M2)
Phần mềm này được bao gồm và tương thích với (Windows 7/8/10)

ỨNG DỤNG

Đối với quá trình khắc và CVD
Giám sát khí phản ứng trong quá trình
Giám sát điểm cuối cho quá trình khắc và làm sạch
Phân tích khí dưKiểm tra rò rỉ

BẢNG TIÊU CHUẨN

Model	RGM2-202	RGM2-302
Sensor
Mass filter type	Quadrupole
Mass range	1 to 200 amu	1 to 300 amu
Resolution	M/△M=1M (10%P.H.)
Detector type	SEM/Faraday cup
Sensitivity	1×10^-3 A/Pa
	1.33×10?? Torr
	0.1A/mbar
minimum detectable partial pressure (inside analyzer tube)	1×10^-10 Pa
	7.5×10^-13 Torr
	1×10^-12 mbar
Ion source	Closed ion source utilizing a magnetic field
Filament	Ir/Y₂O? coated V type, 1pc
Ionization voltage	20 to 70 eV
Emission current	10μA
DC amplification range	1×10^-5 to 1×10^-12 A
Maximum bakeout operating temperature	120℃ (248?)
Differential pumping system
Gas inlet value	Conductance value with 3 different gas inlet modes (VPC-070)
Max. sampling pressure	13kPa
	97.5Torr
	130mbar
Differential pumping system	With intermadiate port and gas purge port
Turbo molecular pump	67L/s：N?
Fore pump	DIS090
Pirani vacuum gauge	SW1-1
Ionization vacuum gauge	GI-M2
Weight	Pumping system：57kg / Controller：38kg
Utility
Power supply	AC100V 15A
Compressed air	Dry N₂：0.4 to 0.7MPa (Φ6 one-touch joint)
	Dry N₂：3×10?? to 5.25×10?? Torr (Φ6 one-touch joint)
	Dry N₂：4 to 7 mbar (Φ6 one-touch joint)
Control unit
"One Click" function	Capable / He/H₂O/N₂/O₂/Any gas
External I/O and other	Analog input×2 (0 to 10V)
	Set-point output×2 (fault,alarm)
	External interlock
Others
Baking heater	Tape heater
Stand	Standard
Sensor unit (Control box cable)	5m
Interface	Ethernet
Software	Qulee QCS Ver.4.0 later（Windows 7/8/10）
Option	PC

Một biến thể của Qulee, bổ sung các tính năng mới để đáp ứng nhu cầu của khách hàng. Bằng cách thêm một đơn vị bơm vi sai, Qulee cung cấp khả năng đo lường và phân tích cho quản lý quá trình và phân tích khí dư.

ĐẶC ĐIỂM

Hiệu suất chi phí tuyệt vời

Cung cấp phân tích khí với một đơn vị giảm chênh lệch tùy chọn

Thiết kế nhỏ gọn

Sử dụng mô hình đơn vị chân không tiêu chuẩn để bàn YTP

Thiết kế đơn vị hiển thị tích hợp

Cung cấp dữ liệu trực quan mà không cần PC

Dễ dàng hoạt động

Chức năng một cú nhấp chuột để vận hành dễ dàng, không có thủ tục phức tạp

Phân tích áp suất khí quyển

Áp suất đo tối đa có thể lựa chọn 3000Pa, 500Pa, 100Pa, 10Pa và 1Pa(22.5Torr, 3.75Torr, 0.75Torr, 7.5×10-2Torr và 7.5×10-3Torr/30mbar, 5mbar, 1mbar, 0.1mbar và 1,0×10-2mbar)

Chọn một mô hình tùy thuộc vào ứng dụng của bạn
Chọn từ các số chung 1 đến 100 (BGM2-101 / 102), 1 đến 200 (BGM2-201 / 202), 1 đến 300 (HGM2-302)
Tiếng ồn thấp43dB (A) trở xuống ở áp suất tối đa
Chỉ báo áp suất
Được thiết kế để dễ dàng tích hợp 2 đồng hồ đo chân không
Chức năng kiểm tra rò rỉ hoàn thành
Kiểm tra rò rỉ khí Heli, kiểm tra rò rỉ không khí, kiểm tra rò rỉ
Qulee QCS Ver.4 (tương thích với Ethernet). Phần mềm đi kèm (Windows 7/8/10)

ỨNG DỤNG

Các loại phân tích khí khác nhau để nghiên cứu và phát triển
Giám sát khí của hệ thống PVD trong quá trình xử lýPhân tích khí dư trong hệ thống PVD
Phân tích khí dư cho thiết bị bơm chân không cao, v.v.

BẢNG TIÊU CHUẨN

Qulee main body		Select from Qulee BGM2-101/102/201/202, HGM2-302
Max sampling pressure		Select from atmospheric pressure 3000Pa/500Pa/100Pa/10Pa/1Pa
		Select from atmospheric pressure 22.5Torr/3.75Torr/0.75Torr/7.5×10??Torr/7.5×10??Torr
		Select from atmospheric pressure 30mbar/5mbar/1mbar/0.1mbar/1.0×10??mbar
Gas induction (500 to 1Pa type/3.75 to 7.5×10??Torr type/5 to 1.0×10??mbar type)		Manual bellows valve・Flange ICF070
Atmospheric pressure type		Please contact us for the detailed specification on separately.
Pump unit Desktop YTP (YTP70A-D)	TMP	Pumping speed 70L/s(N?)
	Dry pump	Pumping speed 20L/min
	Ultimate pressure	Below 10??Pa (7.5 × 10?? Torr, 1.0 × 10?? mbar) (value after TMP bale out)
	Input voltage	Single phase AC100 ~ 240V, 300W
Software		Qulee QCS Ver.4.0 (Windows 7/8/10)
Optional accessories		Ioniation gauge package (SH-1, Sensor head cable 2m,Cross tube,Bolts,Gaskets),Carry cart,USB-LAN adapter,Switching hub(8 ports or 16 ports)

BỘ PHÂN TÍCH KHÍ (RGA)

“Qulee” là mô hình mới nhất của ULVAC để phân tích và giám sát khí dư. ULVAC Qulee đạt được các phép đo chính xác cao với độ phân giải cao ngay cả ở áp suất cao (1Pa), đặt hàng Qulee đơn giản (dễ sử dụng) ngày nay.

Follow us

Zalo

Line Add

Contact Us

ULVAC Vietnam Representative Office

0988-248-567

Find us on Google map