BƠM TURBO PHÂN TỬ DÒNG UTM-FW/FH

đẶC ĐIỂM

Không có giới hạn khi kết hợp bất kỳ nguồn điện nào và thiết bị chính của máy bơm để thay đổi chiều dài cáp vì sử dụng hệ thống không có khớp nối và hệ thống tự do điều chỉnh.
Hệ thống tốc độ thay đổi đánh dấu khả năng thay đổi tốc độ bơm trong vòng từ 25% đến 100%.
Xử lý bề mặt chống ăn mòn tuyệt vời. Các phương pháp xử lý bề mặt đặc biệt tùy chọn (ví dụ như mạ niken + lắng đọng điện cation, màng lắng đọng đặc biệt, anod hóa nhôm) có sẵn khi cần thiết.
Hệ thống sưởi ấm bên trong tùy chọn để kiểm soát nhiệt độ rôto và giảm độ bám dính của các sản phẩm phụ phản ứng phụ.
Thiết kế an toàn với kết cấu hấp thụ năng lượng đứt gãy có thể giảm thiệt hại cho hệ thống chân không khi xảy ra sự cố với máy bơm.

Máy hút chân không chính ( vacuum pump) của các quy trình từ trung bình đến cứng như khắc khô, hệ thống CVD, v.v.

Wide range and high throughput models	High back-pressure and high compression models	Inlet flange size	N₂pumping speed(L/s) 1 2
–	UTM-6300FH	VG500	6300
UTM-3301FW	UTM-3303FH	VG350	3300
UTM-2300FW	–	VG300	2730
		VG250	2230
		ICF305	2110
UTM-1400FW	–	VG250	1490
		VG200	1360
		ICF253	1300
UTM-1001FW	UTM-1001FH	VG200	1000
UTM-1001FW	UTM-1001FH	ICF253	1000
UTM-800FW	UTM-800FH	VG150	810
UTM-800FW	UTM-800FH	ICF203	740
UTM-480FW	UTM-480FH	VG150	480
UTM-480FW	UTM-480FH	ICF203	480
UTM-350FW	UTM-350FH	VG100	350
UTM-350FW	UTM-350FH	ICF152	330

*1	Giá trị được đo theo tiêu chuẩn JVIS005 hoặc giá trị được tính toán dựa trên nó
*2	Lưới bảo vệ không được sử dụng.