ĐỒNG HỒ CHÂN KHÔNG CATOT NÓNG DÒNG SH200

Home / Sản phẩm / Cấu kiện chân không / Đồng hồ đo chân không / ĐỒNG HỒ CHÂN KHÔNG CATOT NÓNG DÒNG SH200

Đầu dò mới “Máy đo đa ion hóa dòng G-TRAN” có khả năng kết nối với các đầu cảm biến loại khác nhau. Sản phẩm này, là máy đo chân không ion hóa loại B-A, có thể đo độ chân không cực cao. Được cải tiến để thân thiện với người dùng hơn, tiếp nhận khái niệm đo lường phạm vi rộng và chi phí vận hành thấp.

Đặc điểm

Khái niệm riêng của ULVAC: Có khả năng kết nối các đầu cảm biến dải đo khác nhau tùy theo ứng dụng.
Nhỏ gọn: Thu nhỏ đáng kể so với dòng trước (giảm 56% âm lượng bộ điều khiển). Hạng nhỏ nhất thế giới.
Khả năng sử dụng cao: Thiết lập cài đặt điểm, kiểm tra tình trạng, v.v. bằng cách kết nối PC / Android.
Lựa chọn lớn hơn: Có sẵn thông số EtherCAT ngoài thông số đầu ra tương tự và thông số giao tiếp nối tiếp.
Chức năng thông báo tuổi thọ của dây tóc: Có thể thực hiện cảnh báo trước trước tuổi thọ của máy đo chân không ion hóa bằng cách xem công suất của dây tóc.
Phạm vi đo rộng: Có thể đo từ áp suất khí quyển đến chân không cực cao (1 x 10 + 5 đến 5 x 10-8Pa) (khi sử dụng với thiết bị tùy chọn SWU10-R).
Cảm biến áp suất khí quyển chính xác: Có thể kiểm tra áp suất khí quyển để mở buồng (khi sử dụng với SAU đơn vị tùy chọn).

ứng dụng

Điều khiển quá trình trong phạm vi chân không cao cho thiết bị chân không cho chất bán dẫn hoặc thiết bị điện.
Kiểm tra áp suất cuối cùng cho các thiết bị chân không loại trong dòng hoặc theo lô có nhiều buồng xử lý.
Đo áp suất cho thiết bị chân không cao hoặc chân không siêu cao.

bảng tiêu chuẩn

Model		SH200-A	SH200-R	HT200-E (scheduled for release)
Type		Analog output type	Serial communication type	EtherCAT communication type
Applicable ionization gauge sensor head		M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
Connectable sensors		Multi ionization gauge SH200: 1 Pirani vacuum gauge sensor unit SWU10-R: 1 (option) Pressure sensro unit SAU: 1 (option)
Repeatability (N₂)		SH200 simple mode: ±2％
Sampling time		60 ms, 5x moving average
Value output		Output voltage: 0 to 10 VDC, LOG output: 0.75 V/1 decade Pressure conversion equation: V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
Update time		60msec
Control input signals		FIL ON/OFF、FIL　1/2、DEGAS ON/OFFOperates with open collector input, negative logic	–	–
Control output signals		Sensor error, Setpoint 1/2/3, Emission valid Watch of electric power of filament Rating: 24V_MAX、50mA_MAX Saturation voltage:1V	–	–
Communication type		–	RS232C/RS-485	EtherCAT
LED display		POWER: Power, ERROR LED (Blinking pattern and color change depending on each mode)
Emission current		1mA (1×10^-3Pa or lower), 10μA (1×10^-3Pa or higher)
Degas Method		Electron bombard type 1mA, 330V
Maximum pressure of sensor		2×10⁺⁵Pa (1.5 x 10⁺³ Torr, 2 x 10⁺³ mbar) (Absolute pressure) ＊Need separate measures as a capacity to resist pressure, such as flange and clamp
Internal volume of sensor		17cm³(M-44), 19cm³(M-45), 17cm³(M-46)
Operating temperature range		10 to 50℃ (50 to 122℉)
Operating humidity range		15 to 80% (not condensing)
Storage temperature		-20 to 65℃ (-4 to 149℉) (At non-energizing, not condensing)
IP rating		IP30
Power supply voltage		DC20 to 28V (Ripple, Noise 1% or less) Lower than 8W
Input/output connector		D-sub15-pin (M2.6 screw)
Weight		Sensor unit: approx. 280g, sensor head (M-44/45): 80g, (M-46): 300g
Dimension W x D x H		69mm×63mm×90mm (sensor unit only)
Applicable standard		CE
Option	Multi Ionization Gauge Sensor head	M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) Material of gas contacting sections: Filament 1, 2 -Ir/Y₂O₃ Other: PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni plating
	Pirani Vacuum Gauge	SWU10-R *Previous model SPU also available
	Pirani Vacuum Gauge Sensor head	SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end), SWP-CF16(ICF034) Material of gas contacting sections : Filament-Pt, Other-BS/Ni plating, Ni, Solder
	Pressure switch	SAU(NW16) Material of gas contacting sections : SUS316L
	Unit cable	GUC-200P (for SWU10-R) ：0.5m, 1m, 2m GUC-200A (for SAU) ：0.5m, 1m, 2m
	Display unit	1CH：ISG1(DC24V)
	Display cable	Cable betweeen SH200 and desiplay unit 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
	Connector	I/O connector (D-sub15-soket（M2.6mm screw))
	Others	Test certificate, Calibration certificate

Dòng SH200 có ba tùy chọn; chế độ đơn giản với máy đo đa ion hóa, chế độ kết hợp với máy đo đa ion hóa và máy đo pirani (SWU10-R) và chế độ kết hợp ba với máy đo đa ion hóa, máy đo pirani (SWU10-R) và công tắc áp suất (SAU)

Mode	SH200-A/SH200-R/SH200-E Simple mode	SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R Combination mode	SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R＋SAU Triple combination mode
Measurable pressure range	5.0×10^-8 to 1.0×10⁺¹Pa	5.0×10^-8to 1.0×10⁺⁵Pa	5.0×10^-8 to 1.0×10⁺⁵Pa
Accuracy	5.0×10^-8to 1.0×10⁺¹Pa： ±15%	5.0×10^-8to 1.0×10^-1Pa：±15% 4.0×10^-1 to 3.0×10⁺⁰Pa：±10～±15% 3.0×10⁺⁰ to 1.0×10⁺⁴Pa：±10% 1.0×10⁺⁴ to 1.0×10⁺⁵Pa：±20%	5.0×10^-8 to 4.0×10^-1Pa：±15% 4.0×10^-1 to 3.0×10⁺⁰Pa：±10～±15% 3.0×10⁺⁰ to 1.0×10⁺⁴Pa：±10% 1.0×10⁺⁴ to 3.0×10⁺⁵Pa：±3%F.S.(3.0×10⁺³Pa･Base temperature: 25℃)
Connection image
Measurable pressure range image	Triple combination can be used when “atmospheric pressure” check required to open chamber.