ULVAC

BỘ PHÂN TÍCH KHÍ (RGA)

“Qulee” là mô hình mới nhất của ULVAC để phân tích và giám sát khí dư. ULVAC Qulee đạt được các phép đo chính xác cao với độ phân giải cao ngay cả ở áp suất cao (1Pa), đặt hàng Qulee đơn giản (dễ sử dụng) ngày nay.
  • DÒNG CGM2
  • DÒNG BGM2
  • DÒNG HGM2
  • DÒNG RGM2
  • DÒNG YTP-H

ĐẶC ĐIỂM

  • Lý tưởng để giám sát quá trình của các hệ thống phún xạ khác nhau
  • Không yêu cầu hệ thống bơm vi sai (ở 1Pa (7,5 × 10-3 Torr / 1 × 10-2 mbar) thấp hơn)
  • Màn hình tích hợp: Không cần PC
  • Hoạt động đơn giản: Chức năng "One Click"
  • Nướng nhiệt độ cao tối đa 120 ℃ (248?) (250 ℃ (482?) Khi loại bỏ cảm biến)
  • Electron bắn phá mỡ
  • Chức năng trợ giúp bảo trì bảo vệ hệ số điện tử thứ cấp và nguồn ion thứ cấp
  • Truy xuất nguồn gốc của ống phân tích (đang chờ cấp bằng sáng chế)
  • Có nhiều thử nghiệm rò rỉ khác nhau (kiểm tra rò rỉ khí Heli, kiểm tra rò rỉ không khí, kiểm tra tích hợp)Có khả năng đo tổng áp suất (đồng hồ đo ion hóa)
  • Qulee QCS được bao gồm:Phần mềm này được bao gồm và tương thích với (Windows 8/10)
  • QIP (Hệ thống gói cài đặt nhanh) được bao gồm:Gói đo tự động (tham khảo danh mục tùy chọn để biết thêm chi tiết)
  • Phù hợp với CE

ỨNG DỤNG

  • Giám sát quá trình cho PV, FPD và hệ thống bán dẫn
  • Phân tích khí dư trong hệ thống PVD
  • Kiểm soát tạp chất (H2O, v.v.) trong hệ thống PVD
  • Để kiểm tra rò rỉ

BẢNG TIÊU CHUẨN

ModelCGM2-051CGM2-052
Mass filter typeQuadrupole
Mass range1 to 50 amu
ResolutionM/ΔM=1M (10% P.H.)
Detector typeFaraday cup (FC)EM Tube (SEM) / Faraday cup (FC)
Sensitivity10?? A/PaSEM:10?? A/Pa
1.33×10?? A/TorrSEM:1.33×10?? A/Torr
10?? A/mbarSEM:10?? A/mbar
Minimum detectable partial pressure1×10?? PaSEM:1×10-10 Pa
7.5×10-10 TorrSEM:7.5×10-13 Torr
1×10?? mbarSEM:1×10-12 mbar
Maximum operating pressureFC:2 Pa

FC:2, SEM:1×10?? Pa

FC:1.5×10?? TorrFC:1.5×10?? SEM:7.5×10?? Torr
FC:2×10?? mbarFC:2×10?? SEM:1×10?? mbar
Linearity1Pa
7.5×10?? Torr
1×10?? mbar
Filamentlr/Y?O?
Ionzing voltage40eV
Emission current0.1mA/0.4mA
DegasElectron bombard type 300V,5mA
Total pressure functionCapable
One Click functionCapable/He/H?O/N?/O?/Any gas
One Click leak test functionCapable
Power inputDC24V ±10% 50W
Weight(Sensor unit/sensor)2.1kg/0.44kg2.2kg/0.44kg
Maximum sensor operating temperature120℃(248?)

Maximum bakeout temperature

(electronics removed)

250℃(482?)
Operating temperature range10 to 40℃ (50 to 104?)
Operating humidity range15 to 80% (not condensing)
IP ratingIP30 (sensor unit)
Power connectorMSTB2.5/3-STF-5.08
Communication interfaceRS232C/RS485 (with option)
External input/output connectorD-sub15-pin (M2.6 screw)
Communication connectorRJ-45
External input/output signalAnalog input(0 to 10V)×2,External interlock input(pressure protection)×1,Partial pressure setpoint output ×2(fault,alarm),Total pressure setpoint output ×1
SoftwareQulee QCS Ver. 4.0 later (Windows 8/10)
Standard accessoriesPower connector,Communication cable(3m long),Software(install CD),Instruction manual(clean paper)

Optional accessories

(Cf. Qulee optional catalogue)

QIP(Auto-measuring package spec.),Communication cable(5m,10m,15m long),AC Power adapter,USB-LAN adapter,Swinting hub(8 ports or 16ports),Input / output connecter,Jacket heater,Carry case
Applicable standardCE

※ Khi PC không có cổng RS232C, vui lòng mua tùy chọn bộ chuyển đổi micro USB / RS232C.

※ Vui lòng chuẩn bị nguồn điện AC / DC hoặc mua bộ chuyển đổi AC / DC tùy chọn.

ĐẶC ĐIỂM

  • Xuất sắc về Hiệu suất Chi phí: Thích hợp cho ứng dụng RGA
  • Phương thức giao tiếp: Ethernet tương thích-Màn hình tích hợp, không cần PC
  • Hoạt động đơn giản: chức năng "One Click"
  • Nướng nhiệt độ cao tối đa 120 ℃ (248?) (250 ℃ (482?) khi loại bỏ cảm biến)
  • Chức năng EgasElectron bắn phá mỡ
  • Tính năng bảo vệ và bảo trì

Chức năng trợ giúp bảo trì bảo vệ hệ số điện tử thứ cấp và nguồn ion thứ cấp

  • Xét nghiệm rò rỉ khác nhau có sẵn

Kiểm tra rò rỉ khí Heli, kiểm tra rò rỉ không khí, rò rỉ

  • Đo áp suất tổng

Có khả năng đo tổng áp suất

  • Qulee QCS được bao gồm và tương thích với (Windows 7/8/10)
  • Tiêu chuẩn áp dụng

    Phù hợp với CE

ỨNG DỤNG

  • Phân tích khí dư để phát quang điện hữu cơ
  • Giám sát khí dư cho PV, FPD và hệ thống sản xuất chất bán dẫn
  • Phân tích khí dư trong hệ thống PVD và lắng đọng chân không
  • Phân tích khí dư cho thiết bị bơm chân không cao, v.v.
  • Phân tích khí dư cho hệ thống sấy đông lạnh
  • Các loại phân tích khí khác nhau để nghiên cứu và phát triển

BẢNG TIÊU CHUẨN

Độ phân giải M/△M=1M(10% P.H.)

ModelBGM2-101BGM2-201BGM2-102BGM2-202
Mass filter typeQuadrupole
Mass range1~100 amu1~200 amu1~100 amu1~200 amu
Detector typeFaraday cupEM tube
Faraday cup
Sensitivity10-7A/Pa4A/Pa
Minimum detectable partial pressure10-8Pa10-12Pa
Maximum operating pressure1x10-2Pa
Total pressure functionCapable/10-2 ~ 10-5Pa
One Click functionCapable /He/H2O/N2/O2/Any gas
One Click leak test functionCapable
Power inputDC24V±10% 50W
Maximum sensor operating temperature120℃ (248?)
Maximum bakeout temperature (electronics removed)250℃ (482?)
Operating temperature range10 to 40℃ (50 to 104?)
SoftwareQulee QCS Ver.4.0 later (Windows 7/8/10)
Applicable standardCE

Dòng máy phân tích khí dư "Qulee HGM2" mới của ULVAC với sự đơn giản mang tính cách mạng trong sử dụng. Cung cấp độ nhạy cao nhất trong tất cả các mô hình ở 2,5 × 10 -6A / Pa, Qulee HGM2. Có thể đáp ứng nhu cầu của nhiều nghiên cứu và phát triển và giám sát hệ thống chân không khác. (Tương thích với Ethernet)

ĐẶC ĐIỂM

  • Thích hợp nhất cho các ứng dụng R&DCung cấp độ nhạy cao nhất 2,5 × 10-6A / Pa (3,3 × 10-4A / Torr, 2,5 × 10-4A / mbar)
  • Giao diện thông tin tương thích Ethernet-Màn hình tích hợp Không cần PC
  • Chức năng "Một cú nhấp chuột" hoạt động đơn giản
  • Nướng ra: Nướng nhiệt độ cao tối đa 250 ℃ (482?) (300 ℃ (572?) Khi tháo các cảm biến)
  • Degas: Chức năng Electron bắn phá degas
  • Bảo dưỡng: Dây tóc, nguồn ion và hệ số nhân electron thứ cấp dễ dàng thay thế
  • Tính năng bảo vệ và bảo trì: Thiết bị cung cấp khả năng bảo vệ và duy trì nguồn ion và hệ số nhân điện tử thứ cấp. Khả năng truy xuất nguồn gốc của ống phân tích (Bằng sáng chế Nhật Bản số 5016031)
  • Xét nghiệm rò rỉ khác nhau có sẵn. Kiểm tra rò rỉ khí Heli, kiểm tra rò rỉ không khí, rò rỉ
  • Đo áp suất tổng. Có khả năng đo tổng áp suất (đồng hồ đo ion hóa)
  • Qulee QCS được bao gồm: Phần mềm này được bao gồm và tương thích với (Windows 7/8/10)-Phù hợp tiêu chuẩn có thể áp dụng với CE

ỨNG DỤNG

  • R & D chẳng hạn như phân tích khí giải hấp nhiệt
  • Phân tích khí dư cho thiết bị bơm chân không siêu cao, v.v.
  • Truy tìm tạp chất trong khí
  • R & D cho lĩnh vực quang điện
  • Phân tích hợp chất hữu cơ
  • Các phép đo môi trường

BẢNG TIÊU CHUẨN

ModelHGM2-202HGM2-302
Mass filter typeQuadrupole
Mass range1 ~ 200 amu1 ~ 300 amu
ResolutionM/ ΔM=1M(10% P.H.)
Detector typeFaraday cupSEMFaraday cupSEM
Sensitivity2.5×10?? A/Pa4 A/Pa2.0×10?? A/Pa4 A/Pa
3.3×10?? A/Torr533 A/Torr3.3×10?? A/Torr533 A/Torr
2.5×10?? A/mbar400 A/mbar2.5×10?? A/mbar400 A/mbar

Minimum datectable partial pressure

Approx. 10?? PaApprox. 10-13PaApprox. 10?? PaApprox. 10-13Pa
Approx. 7.5×10-12 TorrApprox. 7.5×10-16 TorrApprox. 7.5×10-12 TorrApprox. 7.5×10-16 Torr
Approx. 1×10-11 mbarApprox. 1×10-12 mbarApprox. 1×10-11 mbarApprox. 1×10-12 mbar
Maximum operating pressure1×10??Pa
7.5×10?? Torr
1×10?? mbar
Filamentlr / Y?O?, 2pcs
Ionizing voltage25 ~ 70 eV(defalut:70eV)
Emission current0.1mA/0.5mA/1.0mA(default:0.5mA)
DEGASElectron bombard type 330V, 5mA
Total pressure functionCapable / 10?? ~ 10??Pa
"One Click" functionCapable / He/H?O/N?/O?/Any gas
"One Click" leak test functionCapable
Power inputDC24V±10% 50W
Weight(sensor unit / sensor)2.4kg/0.81kg
Maximum sensor operating temperature250℃(482?)

Maximum bakeout temperature

(elsectronisc removed)

300℃(572?)
Operating temperature range10 to 40℃(50 to 104?)
Operating humigity range15 ~ 80%(not condensing)
IP ratingIP30(sensor unit)
Power connectorMSTBV2.5/3-STF-5.08
Communication interfaceEthernet compatible
External input / output connectorD-sub15-pin (M2.6 screw)(eith option)
Communication connectorRJ45
External input / output signalAnalog input (0 to 10V)×2,External interlock input (pressure protection)×1,Error output ×1(FIL,SEM,RF,fault),Partial pressure setpoint output ×2(fault,alarm),Total pressure setpoint output ×1
SoftwareQulee QCS Ver.4.0 later (Windows 7/8/10)
Standard accessoriesPower connector,Communication cable (3m long),Software (install CD),Instruction manual (CD)

Option accessories

(cf. Qulee optional catalogue)

Communication cable (10,15,20,30,50m long), AC power adapter, USB-LAN adapter, Switing hub(8ports or 16ports), Input / output connector, Jacket heater, Carry case
Applicable standardCE

※ Vui lòng chuẩn bị nguồn điện AC / DC hoặc mua bộ chuyển đổi AC / DC tùy chọn.

Hệ thống giám sát quá trình này đã được phát triển cho nhiều loại ứng dụng khác nhau như etch, CVD và các quá trình khí phản ứng khác.Sử dụng nguồn ion ban đầu và hệ thống bơm của ULVAC cho phép bạn đạt được kết quả đo ổn định.

ĐẶC ĐIỂM

  • Kết quả đo ổn định lâu dài
  • Giao diện thông tin tương thích Ethernet
  • Nguồn ion kín sử dụng từ trường: Sự ion hóa mềm giúp phân ly khí ít hơn và độ nhạy cao hơn. Sự phân hủy và hấp phụ do phản ứng nhiệt được giảm thiểu trong buồng ion hóa.
  • Khoảng cách ngắn giữa buồng xử lý và nguồn ion cho phép phản hồi phân tích nhanh chóng.
  • Có sẵn dải áp suất từ 10-6 đến 13kPa. (Lựa chọn các lỗ)
  • Không cần PC Chức năng "One Click"-Max 120 ℃ (248?) Nướng nhiệt độ cao.
  • Electron bắn phá tẩy mỡ
  • Bảo vệ và duy trì nguồn ion và hệ số nhân electron thứ cấp
  • Truy xuất nguồn gốc của ống phân tích (đang chờ cấp bằng sáng chế)
  • Có nhiều thử nghiệm rò rỉ khác nhau (kiểm tra rò rỉ khí Heli, kiểm tra rò rỉ không khí, rò rỉ)
  • Có khả năng đo tổng áp suất (Đồng hồ đo ion hóa bên ngoài GI-M2)
  • Phần mềm này được bao gồm và tương thích với (Windows 7/8/10)

ỨNG DỤNG

  • Đối với quá trình khắc và CVD
  • Giám sát khí phản ứng trong quá trình
  • Giám sát điểm cuối cho quá trình khắc và làm sạch
  • Phân tích khí dưKiểm tra rò rỉ

BẢNG TIÊU CHUẨN

ModelRGM2-202RGM2-302
Sensor
Mass filter typeQuadrupole
Mass range1 to 200 amu1 to 300 amu
ResolutionM/△M=1M (10%P.H.)
Detector typeSEM/Faraday cup
Sensitivity1×10-3 A/Pa
1.33×10?? Torr
0.1A/mbar

minimum detectable partial pressure

(inside analyzer tube)

1×10-10 Pa
7.5×10-13 Torr
1×10-12 mbar
Ion sourceClosed ion source utilizing a magnetic field
FilamentIr/Y2O? coated V type, 1pc
Ionization voltage20 to 70 eV
Emission current10μA
DC amplification range

1×10-5 to 1×10-12 A

Maximum bakeout operating temperature120℃ (248?)
Differential pumping system
Gas inlet valueConductance value with 3 different gas inlet modes (VPC-070)
Max. sampling pressure13kPa
97.5Torr
130mbar
Differential pumping systemWith intermadiate port and gas purge port
Turbo molecular pump67L/s:N?
Fore pumpDIS090
Pirani vacuum gaugeSW1-1
Ionization vacuum gaugeGI-M2
WeightPumping system:57kg / Controller:38kg
Utility
Power supplyAC100V 15A
Compressed airDry N2:0.4 to 0.7MPa (Φ6 one-touch joint)
 Dry N2:3×10?? to 5.25×10?? Torr (Φ6 one-touch joint)
 Dry N2:4 to 7 mbar (Φ6 one-touch joint)
Control unit
"One Click" functionCapable / He/H2O/N2/O2/Any gas
External I/O and otherAnalog input×2 (0 to 10V)
Set-point output×2 (fault,alarm)
External interlock
Others
Baking heaterTape heater
StandStandard
Sensor unit (Control box cable)5m
InterfaceEthernet
SoftwareQulee QCS Ver.4.0 later(Windows 7/8/10)
OptionPC

 

Một biến thể của Qulee, bổ sung các tính năng mới để đáp ứng nhu cầu của khách hàng. Bằng cách thêm một đơn vị bơm vi sai, Qulee cung cấp khả năng đo lường và phân tích cho quản lý quá trình và phân tích khí dư.

ĐẶC ĐIỂM

  • Hiệu suất chi phí tuyệt vời

   Cung cấp phân tích khí với một đơn vị giảm chênh lệch tùy chọn

  • Thiết kế nhỏ gọn

   Sử dụng mô hình đơn vị chân không tiêu chuẩn để bàn YTP

  • Thiết kế đơn vị hiển thị tích hợp

   Cung cấp dữ liệu trực quan mà không cần PC

  • Dễ dàng hoạt động

   Chức năng một cú nhấp chuột để vận hành dễ dàng, không có thủ tục phức tạp

  • Phân tích áp suất khí quyển

   Áp suất đo tối đa có thể lựa chọn 3000Pa, 500Pa, 100Pa, 10Pa và 1Pa(22.5Torr, 3.75Torr, 0.75Torr, 7.5×10-2Torr và 7.5×10-3Torr/30mbar, 5mbar, 1mbar, 0.1mbar và 1,0×10-2mbar)

  • Chọn một mô hình tùy thuộc vào ứng dụng của bạn
  • Chọn từ các số chung 1 đến 100 (BGM2-101 / 102), 1 đến 200 (BGM2-201 / 202), 1 đến 300 (HGM2-302)
  • Tiếng ồn thấp43dB (A) trở xuống ở áp suất tối đa
  • Chỉ báo áp suất
  • Được thiết kế để dễ dàng tích hợp 2 đồng hồ đo chân không
  • Chức năng kiểm tra rò rỉ hoàn thành
  • Kiểm tra rò rỉ khí Heli, kiểm tra rò rỉ không khí, kiểm tra rò rỉ
  • Qulee QCS Ver.4 (tương thích với Ethernet). Phần mềm đi kèm (Windows 7/8/10)

ỨNG DỤNG

  • Các loại phân tích khí khác nhau để nghiên cứu và phát triển
  • Giám sát khí của hệ thống PVD trong quá trình xử lýPhân tích khí dư trong hệ thống PVD
  • Phân tích khí dư cho thiết bị bơm chân không cao, v.v.

BẢNG TIÊU CHUẨN

Qulee main bodySelect from Qulee BGM2-101/102/201/202, HGM2-302
Max sampling pressureSelect from atmospheric pressure 3000Pa/500Pa/100Pa/10Pa/1Pa
Select from atmospheric pressure 22.5Torr/3.75Torr/0.75Torr/7.5×10??Torr/7.5×10??Torr
Select from atmospheric pressure 30mbar/5mbar/1mbar/0.1mbar/1.0×10??mbar
Gas induction (500 to 1Pa type/3.75 to 7.5×10??Torr type/5 to 1.0×10??mbar type)Manual bellows valve・Flange ICF070
Atmospheric pressure typePlease contact us for the detailed specification on separately.

Pump unit Desktop YTP

(YTP70A-D)

TMPPumping speed 70L/s(N?)
Dry pumpPumping speed 20L/min
Ultimate pressureBelow 10??Pa (7.5 × 10?? Torr, 1.0 × 10?? mbar) (value after TMP bale out)
Input voltageSingle phase AC100 ~ 240V, 300W
SoftwareQulee QCS Ver.4.0 (Windows 7/8/10)
Optional accessories

Ioniation gauge package (SH-1, Sensor head cable 2m,Cross tube,Bolts,Gaskets),Carry cart,USB-LAN adapter,Switching hub(8 ports or 16 ports)