ULVAC

BƠM TURBO PHÂN TỬ DÒNG UTM-MI

Bộ điều khiển bơm phân tử turbo tích hợp với vòng bi từ tính giúp tiết kiệm công việc nối dây và không gian lắp đặt.

ĐẶC ĐIỂM

  • Bộ điều khiển tích hợp với thân máy bơm: Không có công việc nối dây giữa thân máy bơm và bộ điều khiển.
  • Hướng lắp tự do: Hướng lắp tự do giúp thiết kế hệ thống linh hoạt.
  • 5 kiểu từ 1000L / s đến 4000L / s
  • Phạm vi rộng và lưu lượng cao cho các quy trình nhẹ.
  • Biến vòng quay của bơm từ 25% đến 100%: Cho phép điều chỉnh áp suất trong buồng.
  • Độ bền và độ an toàn cao: Đã vượt qua các bài kiểm tra xác nhận an toàn, chẳng hạn như kiểm tra luồng không khí vào và kiểm tra chạm xuống.

ỨNG DỤNG

  • Hệ thống bơm chân không chính cho thiết bị

         ・ Thiết bị bán dẫn 

         ・ Hệ thống bay hơi, phún xạ 

         ・ Thiết bị phân tích, thiết bị thí nghiệm và v.v. 

  • Hệ thống bơm chân không chính cho các quá trình nhẹ không tạo ra các sản phẩm phản ứng phụ.
  • Thay thế từ bơm khuếch tán dầu
  • Sử dụng chung cho hệ thống hút chân không cao.

BẢNG TIÊU CHUẨN

ModelUTM1200AUTM1600AUTM2300AUTM3400A
Inlet portVG150
ISO160F
VG200/VG250
ISO200F/ISO250F
VG250
ISO250F
VG300/VG350
ISO320F
Outlet portKF40
Ultimate pressure(*1)Pa10-7
Pumping speed (*2)(*3)N2L/s1030140021003200
ArL/s980133020003100
H2L/s66075013802100
Compression rateN22×108≧ 1×108≧ 1×109
He7×1035×1031×105
H28×1029×1026×103
Max inlet pressure(*4)Pa264.57
Max outlet pressure(*4)Pa266200270
Rotation speedmin-1372003370027600
Speed variationSpeed is variable between 25% and 100% of the rated speed.( set as 0.1%)
Start-up time≦ 8minutes≦ 9minutes≦ 16minutes
Mounting positionIn any desired direction
Surface treatment(*5)None
Commun icationContactD-sub 25 pin female Contact input and output signalD-sub 37 pin female Contact input and output signal
SerialSerial connecter RS232C/RS485D-sub 9 pin male RS232C/RS485
ControllerCompositionPump with integrated controller
Input electric powerSingle phase AC200 〜240V ±10%( 50/60Hz ±2Hz)
Max power0.75kVA1.2kVA
Cooling methodWater cooled
Cooling water(*6)Flow rateL/min3~4
PressureMPaG0.2 ~ 0.4
NoisedB(A)5760
Weightkg43415694
Recommended backing pump(*7)≧ 600L/min≧ 1500L/min
Applicable standardCE、TUVus
Standard accessoriesO-ring(Only VG)、Dust cap(Outlet port)、Remote-control Connector、Instruction manual(CD-ROM) 
Select partsAC CableAC Conector / AC Cable(5m/10m/15m/20m)
Special bolt for fixing pumpM10(Non-RoHS / RoHS)/ M12(Non-RoHS / RoHS)
Special bolt for fixing pumpNeed(M10)(*8)Not Need(*8)
OptionGas purge adaptor (KF10)

* 1  :  Chữ số được thể hiện. 

* 2 : Không có lưới bảo vệ. 

* 3 : Giá trị được tính toán: UTM2300A và UTM3400A 

* 4 : Không thể đồng thời thỏa mãn áp suất đầu vào tối đa và áp suất đầu ra tối đa. 

* 5 : Không dùng khí phản ứng và khí ăn mòn. Vui lòng liên hệ với chúng tôi khi sử dụng các loại khí khác. 

* 6 : Không ngưng tụ 

* 7 : Khi hút 30SCCM 

* 8 : Cấp độ của bu lông, phương pháp cố định, v.v. tùy thuộc vào các điều kiện khác nhau. Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thông tin chi tiết.