ULVAC

ĐỒNG HỒ CHÂN KHÔNG PIRANI DÒNG SP1

Bộ cảm biến SP1 là một máy đo pirani tích hợp bao gồm đầu cảm biến dòng WP và các mạch, cho phạm vi từ 3000 đến 0,4Pa (22 đến 3 x 10-3 torr / 3 đến 4 x 10-3 mbar).

đặc điểm

  • Thông số đầu dò

    Nếu bạn không cần thiết bị hiển thị áp suất:

   ・ Bạn có thể giảm chi phí liên quan đến máy đo chân không

   ・ Bạn có thể tiết kiệm không gian bằng cách thu nhỏ bảng điều khiển

  • Việc thay thế các đầu cảm biến được đơn giản hóa rất nhiều
  • Bạch kim chống ăn mòn được sử dụng cho vật liệu dây tóc
  • Bạn có thể sử dụng các đầu cảm biến hiện tại mà không cần sửa đổi. (SP1: WP-01, 02, 03, 16)
  • Có thể xuất ra 2 điểm đặt
  • SP1: Đọc áp suất là đầu ra 0 đến 5V (không tuyến tính)
  • Có thể hoạt động ở đầu vào nguồn 24VDC 

ứng dụng

  • Điều khiển quá trình trong phạm vi chân không sâu của thiết bị chân không như sản xuất chất bán dẫn, quang học và linh kiện điện tử.
  • Kiểm soát quá trình trong phạm vi chân không sâu cho các thiết bị công nghiệp như lò chân không, v.v.
  • Điều khiển quá trình trong phạm vi áp suất sâu cho các hệ thống chân không có nhiều buồng xử lý như thiết bị chế biến phún xạ nội tuyến và thiết bị xử lý wafer đơn. 

bảng tiêu chuẩn

TypeSensor unit
ModelSP1
Compatible sensor headWP-01, WP-02, WP-03, WP-16

Accuracy

±15 %(51 Pa ~760 Pa)
±30 %(10 Pa ~1000 Pa)
±50 %(0.4 Pa ~3000 Pa)
Operating temperature range10 ~ 40℃
Measurement value outputNonlinear output: 0 to 5VDC (Max. 10V)
Setpoint 1/2 Pressure setting adjustment monitorNonlinear output: 0 to 5VDC (Max. 10V)
Control output signalOpen collector output, Negative logic
ERROR signal
Setpoint 1/2
LED displayPower, error, set point 1, set point 2
Power supply voltageDC24V±2V, 90mA(Max.)
Input/Output connectorD-sub-15P(M2.6 screw)
Weight190g /0.41lb (Excluding sensor head)

Standard accessories

Input/Output connector 1pc
Quick manual 1pc

IO và GND tương tự không được cách ly khỏi GND nguồn.