干式真空泵型号 LS120A、LS300A、LS600A、LS1200A

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特点

特点：低功耗机型（内置 ECO-SHOCK）

应用：适用于空气和氮气等洁净工艺
→ 溅射 / 蒸汽沉积 / 层压 / 负载锁室 / TMP 前级泵等

特点：轻工艺机型（具备表面处理和清洗功能）

应用：适用于蒸汽和易挥发液体药品等轻工艺
→ 真空干燥 / 冷冻干燥 / 灰化处理 / 一般工业用途等

型号	(C:C型 (L: L型		LS120A		LS300A		LS600A		LS1200A
			C	L	C	L	C	L	C	L
最大抽速		m3/h	120		380		600		1000
极限压力		Pa	≤0.6		≤0.1
电源规格			200V 等级：三相，50/60Hz，AC200-240V 或 400V 等级：三相，50/60Hz，AC380-480V
功耗 *1		kW	0.6	2.0	1.0	2.5	1.3	2.6	1.3	2.7
冷却水流量		L/min	>2.0		>4.0
清洗气体流量*2		SLM	–	0~50	–	0~50	–	0~50	–	0~50
最大水蒸气容许值 *3		kg/h	–	1.5	–	1.5	–	1.5	–	1.5
噪音等级		dB(A)	61		61		62		64
进气口			KF50（水平）/ VG50（垂直）		ISO-F-50		ISO-F-80		ISO-F-100
排气口			KF40
重量		kg	142		220		242		266
适用标准			CE, cTUVus
标准附件			使用说明书（光盘）、电源连接器、防水电缆夹、远程连接器，以及电源连接器防护罩。
泵头配置			电源：200V 等级或 400V 等级，密封材料：FFKM（仅适用于 L 型）。
外接配件			MBP 进气法兰适配器、包装排气口、抗震支架、LR 兼容装置（进气口，远程控制）、清洗气体阀门。

*1: 在极限压力下（仅供参考）

*2:C 型不支持清洗气体。

*3:最大水蒸气容许值是在使用清洗气体时的参考值。

*4: C 型不是无泄漏结构。

除了销售 ULVAC 干式真空泵系列产品外，ULVAC 工程师还在越南本地提供这些干泵的维护与维修服务，全天候 24 小时支持设备故障排查。
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