由 ULVAC 完全开发的高效能(IE3)多电压马达。
单一马达可覆盖宽电压范围:200 至 240V / 380 至 460V。
强制油循环系统使抽速在接近大气压时仍保持稳定。
适用于在大气压与真空之间重复或连续运行的场景。
特点:低功耗机型(内置 ECO-SHOCK)
应用:适用于空气和氮气等洁净工艺
→ 溅射 / 蒸汽沉积 / 层压 / 负载锁室 / TMP 前级泵等
特点:轻工艺机型(具备表面处理和清洗功能)
应用:适用于蒸汽和易挥发液体药品等轻工艺
→ 真空干燥 / 冷冻干燥 / 灰化处理 / 一般工业用途等
| 型号 | (C:C型 (L: L型 | LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | |||||
| C | L | C | L | C | L | C | L | |||
| 最大抽速 | m3/h | 120 | 380 | 600 | 1000 | |||||
| 极限压力 | Pa | ≤0.6 | ≤0.1 | |||||||
| 电源规格 | 200V 等级:三相,50/60Hz,AC200-240V 或 400V 等级:三相,50/60Hz,AC380-480V | |||||||||
| 功耗 *1 | kW | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 | |
| 冷却水流量 | L/min | >2.0 | >4.0 | |||||||
| 清洗气体流量*2 | SLM | – | 0~50 | – | 0~50 | – | 0~50 | – | 0~50 | |
| 最大水蒸气容许值 *3 | kg/h | – | 1.5 | – | 1.5 | – | 1.5 | – | 1.5 | |
| 噪音等级 | dB(A) | 61 | 61 | 62 | 64 | |||||
| 进气口 | KF50(水平)/ VG50(垂直) | ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | ||||||
| 排气口 | KF40 | |||||||||
| 重量 | kg | 142 | 220 | 242 | 266 | |||||
| 适用标准 | CE, cTUVus | |||||||||
| 标准附件 | 使用说明书(光盘)、电源连接器、防水电缆夹、远程连接器,以及电源连接器防护罩。 | |||||||||
| 泵头配置 | 电源:200V 等级或 400V 等级,密封材料:FFKM(仅适用于 L 型)。 | |||||||||
| 外接配件 | MBP 进气法兰适配器、包装排气口、抗震支架、LR 兼容装置(进气口,远程控制)、清洗气体阀门。 | |||||||||
*1: 在极限压力下(仅供参考)
*2:C 型不支持清洗气体。
*3:最大水蒸气容许值是在使用清洗气体时的参考值。
*4: C 型不是无泄漏结构。
除了销售 ULVAC 干式真空泵系列产品外,ULVAC 工程师还在越南本地提供这些干泵 ( dry vacuum pump) 的维护与维修服务,全天候 24 小时支持设备故障排查。
如需咨询,请拨打热线电话:0988 248 567(Ngoc 先生) 或 0936 151 138(Hao 女士)。

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