ULVAC Vietnam Representative Office
LSシリーズ ドライ真空ポンプ
LSシリーズは、高排気速度と低消費電力を実現したドライ真空ポンプです。 用途に応じて、最適な排気速度のモデルをお選びいただけます。
特長
● ULVACが独自に開発した高効率マルチ電圧モーター（IE3）を搭載。
1台で200～240V／380～460Vの幅広い電圧に対応します。● 強制給油方式を採用。
大気圧付近でも安定した排気性能を維持し、大気圧と真空の繰り返し運転や連続運転に適しています。● 用途に応じた豊富なオプションを用意。
標準仕様に加え、特殊用途向けにAタイプ、Bタイプ、Hタイプをご用意しています。
LSシリーズ ドライ真空ポンプの用途
Cタイプ：クリーンプロセス仕様（LS*A-C）**
特長： 低消費電力モデル（ECO-SHOCK搭載）
用途： 空気・N₂などのクリーンプロセス、スパッタリング、蒸着、フィルムコーティング、ロードロックチャンバー、TMP補助ポンプ用途など。Lタイプ：ライトプロセス仕様（LS*A-L）**
特長： ライトプロセス対応モデル（セルフクリーニング機能搭載）
用途： 水蒸気や揮発性液体を扱うライトプロセス、真空乾燥（フリーズドライ）、凍結乾燥、灰化処理、一般産業用途など。
仕様
※1：到達圧力時の値です（参考値）。
※2：Cタイプではパージガスは使用できません。
※3：最大水蒸気許容量は、パージガス使用時の値です。
※4：Cタイプはリークレス仕様ではありません。
ULVAC製ドライ真空ポンプの販売に加え、ULVACのサービスエンジニアがベトナム国内で保守・メンテナンスおよび修理サービスを提供しています。
24時間365日体制で迅速なトラブル対応を行い、お客様の設備停止時間を最小限に抑えます。
製品に関するご相談・お問い合わせは、下記のホットラインまでお気軽にご連絡ください。
