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SOPHI-30 是簇式低加速高密度离子注入机,无质量分离器,并支持薄型晶圆。
此设备(SOPHI-200/260)基本沿用现有的中电流量产型离子注入机,并根据我们作为设备供应商的丰富经验,去除了过度规格。因此,通过有效的成本削减,我们能够在具备平行扫描功能的同时,以较低的销售价格提供设备。
SOPHI-400 是簇式高能量离子注入机,适用于最高 2400 keV 的能量范围。
用于量产的离子注入机,配备适用于碳化硅(SiC)的高温静电卡盘(ESC)。