离子注入系统

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SOPHI-30 系列

SOPHI-30 是簇式低加速高密度离子注入机，无质量分离器，并支持薄型晶圆。

SOPHI-200/260 系列

此设备（SOPHI-200/260）基本沿用现有的中电流量产型离子注入机，并根据我们作为设备供应商的丰富经验，去除了过度规格。因此，通过有效的成本削减，我们能够在具备平行扫描功能的同时，以较低的销售价格提供设备。

SOPHI-400 系列

SOPHI-400 是簇式高能量离子注入机，适用于最高 2400 keV 的能量范围。

IH-860DSIC 系列

用于量产的离子注入机，配备适用于碳化硅（SiC）的高温静电卡盘（ESC）。