单片式溅射系统 SMD系列

HỆ THỐNG PHÚN XẠ LOẠI CỤM SMD
SMD系列是用于镀制金属膜、ITO膜等薄膜的单片式溅射系统。ULVAC 已向各种生产环境交付了大量此类设备，并能迅速响应生产现场的反馈，不断提升这些机型的可靠性。

特点

  • 仅基板传送及侧面沉积方式可将颗粒产生量降至最低，
  • 并采用节省空间的设计；
  • 可根据镀膜条件等参数轻松管理每片基板；
  • 可配置不同的靶材/阴极以沉积各类材料；
  • 并且基于ULVAC丰富的经验与数据，系统可支持多种镀膜工艺。

应用

  • 薄膜晶体管（TFT）

技术参数

类型G4.5G5G5.5
SMD-950SMD-950X3SMD-1200CXSMD-1500X
簇式结构X 型
基板尺寸 (mm)730 X 9201200 X 13001300 X 1500
腔体结构1) 装载/卸载腔2
2) 加热腔1–
3) 传送腔1
4) 溅射腔42 (最多2个靶)2 (最多3个靶)2 (最多2个靶)
高真空抽气系统低温泵
基板传送系统单层机械臂　双层机械臂　

双层机械臂

关注我们

ZALO ULVAC VIETNAM

Zalo

ZALO 0988248567

LINE ULVAC VIETNAM

Line Add

联系我们

ULVAC Vietnam Representative Office

29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam

5/5/42 Thanh Binh Street, Hai Duong Province, Vietnam

0988-248-567

在 Google 地图上找到我们