单片式溅射系统 SMD系列
SMD系列是用于镀制金属膜、ITO膜等薄膜的单片式溅射系统。ULVAC 已向各种生产环境交付了大量此类设备，并能迅速响应生产现场的反馈，不断提升这些机型的可靠性。
特点
- 仅基板传送及侧面沉积方式可将颗粒产生量降至最低，
- 并采用节省空间的设计；
- 可根据镀膜条件等参数轻松管理每片基板；
- 可配置不同的靶材/阴极以沉积各类材料；
- 并且基于ULVAC丰富的经验与数据，系统可支持多种镀膜工艺。
应用
- 薄膜晶体管（TFT）
技术参数
| 类型 | G4.5 | G5 | G5.5 | ||
| SMD-950 | SMD-950X3 | SMD-1200CX | SMD-1500X | ||
| 簇式结构 | X 型 | ||||
| 基板尺寸 (mm) | 730 X 920 | 1200 X 1300 | 1300 X 1500 | ||
| 腔体结构 | 1) 装载/卸载腔 | 2 | |||
| 2) 加热腔 | 1 | – | |||
| 3) 传送腔 | 1 | ||||
| 4) 溅射腔 | 4 | 2 (最多2个靶) | 2 (最多3个靶) | 2 (最多2个靶) | |
| 高真空抽气系统 | 低温泵 | ||||
| 基板传送系统 | 单层机械臂 | 双层机械臂 | 双层机械臂 | ||
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