单片式溅射系统 SMD系列

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SMD系列是用于镀制金属膜、ITO膜等薄膜的单片式溅射系统。ULVAC 已向各种生产环境交付了大量此类设备，并能迅速响应生产现场的反馈，不断提升这些机型的可靠性。

特点

仅基板传送及侧面沉积方式可将颗粒产生量降至最低，
并采用节省空间的设计；
可根据镀膜条件等参数轻松管理每片基板；
可配置不同的靶材/阴极以沉积各类材料；
并且基于ULVAC丰富的经验与数据，系统可支持多种镀膜工艺。

应用

薄膜晶体管（TFT）

技术参数

类型		G4.5		G5	G5.5
		SMD-950	SMD-950X3	SMD-1200CX	SMD-1500X
		簇式结构	X 型
基板尺寸 (mm)		730 X 920		1200 X 1300	1300 X 1500
腔体结构	1) 装载/卸载腔	2
	2) 加热腔	1	–
	3) 传送腔	1
	4) 溅射腔	4	2 (最多2个靶)	2 (最多3个靶)	2 (最多2个靶)
高真空抽气系统		低温泵
基板传送系统		单层机械臂		双层机械臂	双层机械臂