ULVAC Vietnam Representative Office

HỆ THỐNG PHÚN XẠ ĐƠN ĐẾ DÒNG SMD

Dòng SMD là các hệ thống phún xạ đơn đế để lắng đọng các màng như màng kim loại và màng ITO. ULVAC đã cung cấp một số lượng lớn các hệ thống này, để sử dụng trong nhiều môi trường sản xuất. ULVAC phản hồi nhanh chóng các phản hồi từ các địa điểm sản xuất để nâng cao độ tin cậy của các mô hình này.

đặc điểm

  • Phương pháp truyền chỉ sử dụng chất nền và phương pháp lắng đọng bên cho phép tạo ra ít hạt.
  • Thiết kế tiết kiệm không gian
  • Các chất nền riêng lẻ có thể dễ dàng được quản lý bằng cách sử dụng các thông số như điều kiện lắng đọng.
  • Các cực âm khác nhau có sẵn để lắng đọng các chất khác nhau.
  • Nhiều quy trình lắng đọng được hỗ trợ, dựa trên kinh nghiệm và dữ liệu dồi dào của ULVAC.

ứng dụng

  • Chất bán dẫn màng mỏng (TFTs)

bảng tiêu chuẩn

TypeG4.5G5G5.5
SMD-950SMD-950X3SMD-1200CXSMD-1500X
Cluster-typeX-type
Substrate size (mm)730 X 9201200 X 13001300 X 1500
Chamber configuration1) Loading/unloading chambers2
2) Heating chambers1
3) Transfer chambers1
4) Sputter chambers42 (Up to 2 cathodes)2 (Up to 3 cathodes)2 (Up to 2 cathodes)
High vacuum evacuation systemCryopump
Substrate transfer system1-level arm2-level arm2-level arm