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UTM-FW/FHシリーズ ターボ分子ポンプ
UTM-FW/FHシリーズのターボ分子ポンプは、5軸磁気浮上ベアリングを採用した複合型ターボ分子ポンプであり、デジタル制御技術により、高性能・高信頼性・省エネルギーという特長を実現しています。 水素圧縮比を向上させたUTM-FHシリーズは、高背圧・高圧縮タイプで、軽～中負荷プロセス向けに設計されています。 UTM-FWシリーズは、広い圧力範囲と高流量を特長とするワイドレンジタイプで、高負荷プロセスおよび中～ハードプロセス向けです。
特長
- 電源の組み合わせやポンプ本体との接続に制限がなく、カップリングレス構造および自動調整システムを採用しているため、ケーブル長の変更にも柔軟に対応できます。
- 可変速システムにより、ポンプ速度を25％～100％の範囲で変更することが可能です。
- 優れた耐食性を有する表面処理を採用しています。必要に応じて、特殊表面処理（例：ニッケルめっき＋カチオン電着塗装、特殊成膜、アルマイト処理）にも対応可能です。
- オプションとして内部ヒーターシステムを搭載でき、ローター温度を制御することで、反応副生成物の付着を低減します。
- 破損時のエネルギー吸収構造を備えた安全設計により、ポンプ異常発生時の真空システムへの損傷を最小限に抑えます。
UTM-FW/FHシリーズ ターボ分子ポンプの用途
- ドライエッチング装置、CVDシステムなど、中～ハードプロセス向けの主ポンプ（真空ポンプ）として使用されます
標準仕様表
| Wide range and high throughput models | High back-pressure and high compression models | Inlet flange size | N2pumping speed(L/s) *1 *2 |
| – | UTM-6300FH | VG500 | 6300 |
| UTM-3301FW | UTM-3303FH | VG350 | 3300 |
| UTM-2300FW | – | VG300 | 2730 |
| VG250 | 2230 | ||
| ICF305 | 2110 | ||
| UTM-1400FW | – | VG250 | 1490 |
| VG200 | 1360 | ||
| ICF253 | 1300 | ||
| UTM-1001FW | UTM-1001FH | VG200 | 1000 |
| ICF253 | 1000 | ||
| UTM-800FW | UTM-800FH | VG150 | 810 |
| ICF203 | 740 | ||
| UTM-480FW | UTM-480FH | VG150 | 480 |
| ICF203 | 480 | ||
| UTM-350FW | UTM-350FH | VG100 | 350 |
| ICF152 | 330 |
| *1 | JVIS005規格に基づいて測定した値、またはそれに基づいて算出した値です。 |
| *2 | 保護ネットは使用していません |
