ULVAC Vietnam Representative Office
ST200シリーズ 熱陰極真空計
G-TRANシリーズ マルチイオンゲージは、異なる種類のセンサーヘッドを接続可能な新しいタイプの真空計です。 本製品はトライオード型イオンゲージを採用しており、低感度劣化を抑制することで、真空計にとって過酷な環境下でも長期間にわたり安定した測定が可能です。 長寿命化と低ランニングコストを実現し、より使いやすい真空計へと改良されています。
特長
- ULVAC独自のコンセプト
用途に応じて異なる測定範囲のセンサーヘッドを接続可能です。 - コンパクト設計
従来シリーズと比較して大幅な小型化を実現しました。
（コントローラー容積を56％削減）
世界最小クラスのサイズを実現しています。 - 高い操作性
PC／Android端末を接続することで、設定値の変更、状態確認などが可能です。 - 豊富なインターフェース選択
アナログ出力、シリアル通信仕様に加え、EtherCAT仕様にも対応しています。 - 世界初の金属製トライオード型イオンゲージ
過酷な環境下でも長寿命を実現し、ガラス管タイプのような破損リスクを低減します。 - フィラメント寿命通知機能
フィラメント電力を監視することで、イオンゲージの寿命前に予防的なアラートが可能です。 - 広い測定範囲
大気圧から超高真空領域まで測定可能です。
（1×10⁵～1×10⁻⁵Pa）
※オプションSWU10-R使用時 - 高精度大気圧センサー
オプションSAUユニット使用時、チャンバー開放時の大気圧確認が可能です。
用途
- OLED用タッチパネル製造装置などの真空装置における到達圧力確認およびプロセス制御
- 真空炉などの熱処理用真空装置における到達圧力確認
- 炭化水素を多く含む雰囲気での測定
- センサーヘッドの交換周期が必要な用途
※ 腐食性ガス（ハロゲン系ガス）を使用する場合は、お問い合わせください。
仕様
| Model | ST200-A | ST200-R | ST200-E (scheduled for release) |
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| Type | Analog output type | Serial communication type | EtherCAT communication type | |
| Applicable ionization gauge sensor head |
SWT-16(NW16), SWT-25(NW25) | |||
| Connectable sensors | Multi ionization gauge ST200: 1 Pirani vacuum gauge sensor unit SWU10-R: 1 (option) Pressure sensro unit SAU: 1 (option) |
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| Repeatability(N2) | ST200 simple mode: ±2％ | |||
| Sampling time | 60 ms, 5x moving average | |||
| Value output | Output voltage: 0 to 10 VDC, LOG output: 0.75 V/1 decade Pressure conversion equation: V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2} |
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| Update time | 60msec | |||
| Control input signals | FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFFOperates with open collector input, negative logic | – | – | |
| Control output signals | Sensor error, Setpoint 1/2/3, Emission valid Watch of electric power of filament Rating: 24VMAX、50mAMAX Saturation voltage:1V |
– | – | |
| Communication type | – | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
| LED display | POWER: Power, ERROR LED (Blinking pattern and color change depending on each mode) | |||
| Emission current | 2mA (1×10-2Pa or lower), 10μA (1×10-2Pa or higher) | |||
| Degas Method | Electron bombard type 2mA, 330V | |||
| Maximum pressure of sensor | 2×10+5Pa (1.5 x 10+3 Torr, 2 x 10+3 mbar) (Absolute pressure) | |||
| Internal volume of sensor | 17cm3(SWT-16), 19cm3(SWT-25) | |||
| Operating temperature range | 10 to 50℃ (50 to 122℉) | |||
| Operating humidity range | 15 to 80% (not condensing) | |||
| Storage temperature | -20 to 65℃ (-4 to 149℉) (At non-energizing, not condensing) | |||
| IP rating | IP30 | |||
| Power supply voltage | DC20 to 28V (Ripple, Noise 1% or less) Lower than 8W |
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| Input/output connector | D-sub15-pin (M2.6 screw) | |||
| Weight | Sensor unit: approx. 280g, sensor head(SWT-16, SWT-25): 80g | |||
| Dimension W x D x H | 69mm×63mm×90mm (sensor unit only) | |||
| Applicable standard | CE | |||
| Option | Multi Ionization Gauge Sensor head | SWT-16（NW16）, SWT-25（NW25） Material of gas contacting sections: Filament 1, 2 -Ir/Y2O3 Other: PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni plating |
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| Pirani Vacuum Gauge | SWU10-R *Previous model SPU also available | |||
| Pirani Vacuum Gauge Sensor head | SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end), SWP-CF16(ICF034) Material of gas contacting sections : Filament-Pt, Other-BS/Ni plating, Ni, Solder |
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| Pressure switch | SAU(NW16) Material of gas contacting sections : SUS316L | |||
| Unit cable | GUC-200P (for SWU10-R) ：0.5m, 1m, 2m GUC-200A (for SAU) ：0.5m, 1m, 2m |
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| Display unit | 1CH：ISG1(DC24V) | |||
| Display cable | Cable betweeen ST200 and desiplay unit 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m |
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| Connector | I/O connector (D-sub15-soket（M2.6mm screw)) | |||
| Others | Test certificate, Calibration certificate | |||
ST200シリーズには3つのオプション構成があり、マルチイオンゲージ単体で使用するシンプルモード、マルチイオンゲージとピラニ真空計（SWU10-R）を組み合わせた複合モード、さらにマルチイオンゲージ、ピラニ真空計（SWU10-R）、圧力スイッチ（SAU）を組み合わせた3連モードを選択できます。
| Mode | ST200-A/ST200-R/ST200-E Simple mode |
ST200-A/ST200-R/ST200-E ＋SWU10-R Combination mode |
ST200-A/ST200-R/ST200-E ＋SWU10-R＋SAU Triple combination mode |
| Measurable pressure range | 1.0×10-5 to 1.0×10+1Pa | 1.0×10-5 to 1.0×10+5Pa | 1.0×10-5 to 1.0×10+5Pa |
| Accuracy | 1.0×10-4 to 3.0×10+0Pa： ±10% |
1.0×10-4 to 1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10+4 to 1.0×10+5Pa：±20% |
1.0×10-4 to 1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10+4 to 3.0×10+5Pa：±3%F.S.(3.0×10+3Pa･Base temperature: 25℃) |
| Connection image |  |
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| Measurable pressure range image |  Triple combination can be used when “atmospheric pressure” check required to open chamber. |
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PC／スマートフォン接続イメージ
アプリケーションソフトウェア「UL-MOBI」
| PC用 | Download from ULVAC’s website “ULVAC SHOWCASE” download center |
| スマートフォン用 | Download from Google Play |
| PC | Windows 10 64 bit or later |
| スマートフォン | Android 6 or later, USB TypeC |
