Gặp Vấn Đề Khi Kiểm Soát Khí Trong Sản Xuất Bán Dẫn ?
Trong ngành sản xuất bán dẫn (semiconductor manufacturing), các quy trình như sputtering, thin-film deposition và các process sử dụng khí phản ứng yêu cầu môi trường chân không được kiểm soát chặt chẽ. Bên cạnh áp suất và nhiệt độ, việc theo dõi thành phần khí, khí dư (Residual Gas) và độ ẩm H₂O […]
Bẫy Lạnh Siêu Việt Của ULVAC Cho Máy Sputtering: Bí Quyết Tối Ưu Chân Không & Hiệu Suất
Trong hệ thống sputtering, môi trường chân không sạch và ổn định đóng vai trò rất quan trọng. Điều này ảnh hưởng trực tiếp đến quá trình deposition và chất lượng màng mỏng. Tuy nhiên, hơi nước và các thành phần khí không mong muốn có thể ảnh hưởng đến điều kiện chân không. Vì […]
Vacuum Evaporation Là Gì?
Vacuum Evaporation là một phương pháp Physical Vapor Deposition (PVD) được sử dụng để tạo lớp màng mỏng trên wafer và các loại substrate. Công nghệ này sử dụng môi trường chân không để làm bay hơi vật liệu nguồn, sau đó các nguyên tử hoặc phân tử vật liệu lắng đọng trên bề mặt […]
HiPIMS – Bước Tiến Quan Trọng Trong Công Nghệ PVD
Trong ngành công nghiệp bán dẫn, điện tử và cơ khí chính xác, chất lượng màng mỏng đóng vai trò rất quan trọng. Các lớp phủ không chỉ cần có độ đồng đều cao mà còn phải đảm bảo độ bám dính, độ đặc chắc và độ ổn định lâu dài. Vì vậy, các công […]
So Sánh Magnetron Sputtering Và Sputtering Truyền Thống
Trong ngành công nghiệp bán dẫn, công nghệ lắng đọng màng mỏng (Thin Film Deposition) đóng vai trò quan trọng trong việc tạo ra các lớp vật liệu chức năng trên wafer. Những lớp màng này được sử dụng làm điện cực, lớp dẫn điện, lớp cách điện và lớp bảo vệ trong nhiều loại […]
Thách Thức Khi Thu Nhỏ Kích Thước Bán Dẫn: Cuộc Đua Vượt Qua Các Giới Hạn Vật Lý
Ngành công nghiệp bán dẫn đang bước vào giai đoạn phát triển chưa từng có. Sự bùng nổ của trí tuệ nhân tạo (AI), điện toán hiệu năng cao (HPC) và trung tâm dữ liệu đang thúc đẩy nhu cầu về những con chip mạnh mẽ hơn. Đồng thời, các thiết bị điện tử thông […]
Khám Phá Công Nghệ Phún Xạ Chân Không Trong Ngành Bán Dẫn
Mỗi chiếc smartphone, máy tính, thiết bị AI hay xe điện ngày nay đều chứa hàng tỷ transistor được chế tạo trên các tấm wafer bán dẫn. Để tạo nên những cấu trúc siêu nhỏ này, ngành công nghiệp bán dẫn phải sử dụng hàng loạt công nghệ chế tạo tiên tiến, trong đó công […]
Outgassing Là Gì? Kẻ Thù Thầm Lặng Đang Đe Dọa Hiệu Suất Sản Xuất Chip Bán Dẫn
Ngành công nghiệp bán dẫn đang bước vào kỷ nguyên của các tiến trình dưới 5nm và thậm chí 2nm. Khi kích thước transistor ngày càng thu nhỏ, yêu cầu về độ sạch của môi trường sản xuất cũng trở nên khắt khe hơn bao giờ hết. Tuy nhiên, không phải mọi nguồn nhiễm bẩn […]
Cách Phát Hiện Rò Rỉ Khí Siêu Nhỏ (< 10⁻⁹ mbar·L/s) Trong Buồng Chân Không Bán Dẫn
Trong ngành sản xuất bán dẫn, đặc biệt ở các quy trình Front-End như khắc khô (Dry Etching), lắng đọng màng mỏng (CVD/ALD) hay cấy ion (Ion Implantation), môi trường chân không siêu cao (UHV) đóng vai trò sống còn. Chỉ một vết rò rỉ khí nano với kích thước < 10⁻⁹ mbar·L/s cũng đủ […]
Quy Trình Front-End Trong Sản Xuất Bán Dẫn: Nơi Phép Màu Công Nghệ Bắt Đầu
Trong thế giới công nghệ hiện đại, chúng ta thường nhắc đến những con chip vi mạch mạnh mẽ. Chúng vận hành siêu máy tính, điện thoại thông minh, AI và cả xe tự lái. Tuy nhiên, để tạo ra một con chip hoàn chỉnh, tấm silicon phải trải qua một hành trình cực kỳ […]
Tiên Phong Trong Xu Hướng Thu Nhỏ Kích Thước Bán Dẫn: Công Nghệ Lắng Đọng Mặt Nạ Cứng Kim Loại (MHM)
Trong kỷ nguyên công nghệ cao, việc thu nhỏ kích thước linh kiện bán dẫn đang trở thành yếu tố cốt lõi để nâng cao hiệu suất tính toán và giảm tiêu thụ năng lượng cho thiết bị điện tử thông minh. Vì vậy, công nghệ màng mỏng tiên tiến ngày càng giữ vai trò […]
Vì Sao Semiconductor Việt Nam Đang Cần Sputtering System Thế Hệ Mới?
Ngành semiconductor tại Việt Nam đang bước vào giai đoạn tăng trưởng mới. Nếu trước đây Việt Nam chủ yếu tập trung vào lắp ráp điện tử, thì hiện nay xu hướng đang chuyển dần sang: semiconductor packaging advanced electronics AI server EV electronics high-value manufacturing […]
Clean Vacuum: Lý do Semiconductor bắt buộc dùng Turbo Pump
Turbo pump quyết định trực tiếp đến khả năng duy trì clean vacuum trong các quy trình như semiconductor và EV battery coating. Chỉ cần một lượng nhiễm bẩn cực nhỏ cũng có thể làm hỏng lớp phủ, giảm hiệu suất, hoặc khiến cả lô hàng bị loại bỏ. Vì vậy, vấn đề không phải […]
Bán dẫn bùng nổ ở Việt Nam: Cuộc chơi tỷ đô bắt đầu từ… Chân Không!
Việt Nam – Tâm điểm mới của bản đồ bán dẫn toàn cầu Trong bối cảnh dịch chuyển chuỗi cung ứng toàn cầu hậu COVID-19 và căng thẳng thương mại Mỹ – Trung, Việt Nam nổi lên là điểm đến chiến lược của hàng loạt ông lớn trong ngành bán dẫn như Intel, Samsung, Amkor, […]
QUANG KHẮC ĐÓNG VAI TRÒ GÌ TRONG SẢN XUẤT BÁN DẪN?
Chào quý đọc giả, theo bài viết trước của Ulvac về nguyên lý hoạt động của hệ thống máy khắc khô (dry etching), trước khi đưa wafer vào buồng etching, chúng đã được phủ lên 1 lớp bảo vệ gọi là photoresist (hay còn gọi là lớp nhạy sáng) Quá trình phủ lớp photoresist để […]
NGUYÊN LÝ DRY ETCHING PLASMA – ỨNG DỤNG TRONG BÁN DẪN
Hệ thống khắc khô plasma (Plasma dry etching system) là thiết bị cốt lõi trong quy trình sản xuất bán dẫn. Nó đóng vai trò quan trọng khi chế tạo các mạch tích hợp và linh kiện điện tử hiện đại. Dry etching system with ULVAC original NLD (Neutral Loop Discharge) Plasma Source 1. Khái […]
BÁN DẪN – QUY TRÌNH SẢN XUẤT LINH KIỆN BÁN DẪN PHẦN 2
Ở phần trước, chúng tôi đã giới thiệu tới quý bạn đọc các khái niệm về bán dẫn, ở bài viết lần này, ULVAC xin được chia sẻ về quy trình sản xuất linh kiện bán dẫn. 1. Wafer là gì, đặc điểm của tấm wafer Wafer là một miếng silicon mỏng chừng 30mil (0.76mm) […]
BÁN DẪN – NHỮNG KHÁI NIỆM CƠ BẢN NHẤT BẠN CẦN BIẾT PHẦN 1
1. Linh kiện bán dẫn là gì? Linh kiện bán dẫn hay phần tử bán dẫn là các linh kiện điện tử khai thác tính chất điện tử của vật liệu bán dẫn như silic, germani và arsenua, cũng như chất bán dẫn hữu cơ. Linh kiện bán dẫn sử dụng dẫn truyền điện tử […]
PLASMA CHÂN KHÔNG LÀ GÌ?
Plasma chân không là gì? Đây quá trình trong đó một chất khí bị ion hóa trong buồng chân không để tạo thành plasma. Thông thường, plasma oxy và argon được sử dụng. Nhờ đó, bề mặt có thể được làm sạch, ăn mòn hoặc kích hoạt hiệu quả. Plasma color in O2 gas of […]
Mạ điện và xi mạ chân không
Kỹ thuật mạ điện là quá trình điện hóa phủ lớp kim loại lên một vật, dùng để đáp ứng nhu cầu bảo vệ kim loại nền khỏi bị ăn mòn còn có tác dụng trang trí,… Tuy nhiên mạ điện là một ngành có mức độ ô nhiễm môi trường cao bởi các tác […]
